[发明专利]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置，将研磨部件支撑为能够相对于被加工部件的加工面摇摆，在将上述研磨部件推压到上述被加工部件的状态下，使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相对运动，研磨上述被加工部件的加工面，该研磨装置具有：

旋转传递部件，将来自旋转驱动源的转矩传递到上述研磨部件；以及

旋转传递机构，具有层积橡胶部件，该层积橡胶部件以施加压力的方式夹在设置于上述旋转传递部件的第一安装部件与设置于上述研磨部件的第二安装部件之间，传递上述旋转传递部件的转矩，并且追随上述研磨部件的摇摆运动而变形。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

上述旋转传递机构的上述层积橡胶部件的安装到上述第一安装部件与第二安装部件之间前的自然长度大于上述第一安装部件与第二安装部件之间的长度。

3.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其中，

在上述旋转传递机构的上述层积橡胶部件和上述第一安装部件之间及上述层积橡胶部件和上述第二安装部件之间的至少任意一方中，设有防止上述层积橡胶部件绕其中心轴旋转的旋转防止单元。

4.根据权利要求3所述的研磨装置，其中，

上述旋转传递机构的上述旋转防止单元是与上述层积橡胶部件的端面和上述第一安装部件之间及上述层积橡胶部件和第二安装部件之间的至少任意一方卡合的两根销。

5.根据权利要求1～4的任意一项所述的研磨装置，其中，

在和被加工部件的任意大小对应的上述研磨部件与上述旋转传递部件之间，对应上述研磨部件的大小配置预定的多个上述旋转传递机构。

6.根据权利要求1～5的任意一项所述的研磨装置，其中，

所述研磨装置具有将上述旋转传递部件的转矩传递到上述研磨部件的上述层积橡胶部件，并且具有多个流体弹簧，该流体弹簧用于在研磨时，将推压上述被加工部件的推压力从上述旋转传递部件施加到上述研磨部件，该多个流体弹簧在上述旋转传递部件和上述研磨部件之间被配置在使对于上述被加工部件的推压力变得均匀的位置上。