[发明专利]研磨装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种研磨装置。

背景技术

图11及图12表示专利文献1所述的现有的研磨装置。如图11所示，该研磨装置130具有研磨部件支撑机构(以下称为RCC机构(远中心柔顺结构))134及转矩传递单元(旋转传递机构)136。

RCC机构134具有4个层积橡胶部件137。层积橡胶部件137的下端部隔90°的间隔固定到圆锥台138的圆周面上，圆锥台138形成在研磨板(研磨部件)140的表面。

如图12所示，该层积橡胶部件137、137……以一定的倾角朝上方配置，各自的上端部安装在支撑板143(旋转传递部件)上。这样一来，研磨板140借助层积橡胶部件137、137……连接到支撑板143。此时，4个层积橡胶部件137的延长线在研磨板140的中心轴线上的虚拟中心D点交叉，虚拟中心D位于研磨板140的研磨面的略靠下方。

层积橡胶部件137虽省略了图示，但通过多个金属板在层积橡胶部件137的轴方向上隔开微小间隔埋设到圆柱状形成的橡胶内而形成。并且如图12所示，在该圆柱状形成的层积橡胶部件137的两端部分别形成安装部137C、137D，安装部137C、137D固定到支撑板143、研磨板140上。

该层积橡胶部件137相对于垂直负荷的变形量非常小，当图12所示的推压力P作用于支撑板143时，推压力P通过4个层积橡胶部件137传递到研磨板140。并且，层积橡胶部件137相对于水平负荷的变形量大，研磨板140中产生摩擦反作用力F₁时，将研磨板140退避向上方，防止研磨板140的粘着。这样一来，防止玻璃板142中产生研磨不均，均匀地研磨玻璃板142。

如图11所示，转矩传递单元136具有矩形的筐体146，在形成筐体146的左右边，在中央形成安装部146A、146A。并且，在形成筐体146的上下边，在中央形成安装部146B、146B。在安装部146A上固定层积橡胶部件148、148的一端，层积橡胶部件148、148的另一端固定在U字块150的端部。此时，层积橡胶部件148、148配置在同轴上。并且，U字块150、150固定到研磨板140上。

安装部146B上固定有层积橡胶部件149、149的一端，层积橡胶部件149、149的另一端固定到U字块152的端部。此时，层积橡胶部件149、149配置在同轴上，U字块152的上表面152A固定到支撑板143。因此，例如当支撑板143公转时，支撑板143的旋转力经由U字块152、152传递到层积橡胶部件149、149。

此时，旋转力作用于层积橡胶部件149、149的轴线方向，因此传递到层积橡胶部件149、149的旋转力通过安装部146B、146B及筐体146传递到安装部146A、146A。传递到安装部146A、146A的旋转力作用于层积橡胶部件148、148的轴线方向，通过层积橡胶部件148、148及U字块150、150传递到研磨板140。这样一来，在旋转力作用于支撑板143的情况下，研磨板140也追随支撑板143并移动，阻止研磨板140的扭转运动。

专利文献1：日本特开平9-57615号公报

发明内容

在上述现有技术的使用了研磨部件的旋转传递机构具有2对层积橡胶部件148、148及149、149的单元的构成中，当研磨对称物(被加工部件)大型化时，只能对应研磨对象物的尺寸，使上述单元本身大型化。

但是，直接使上述单元大型化时，难以使圆筒状的层积橡胶部件的端面不磨损、或层积橡胶部件不绕其中心轴旋转地组装制作，研磨部件的旋转传递机构的耐久性有问题，存在难以大型化的问题。

本发明鉴于这一情况而出现，其目的在于提供一种在由层积橡胶部件构成的传递转矩的研磨部件的旋转传递机构中，减少层积橡胶破损的问题，并可对应装置大型化的层积橡胶部件的安装构造的研磨装置。

为实现上述目的，本发明提供一种研磨装置，将研磨部件支撑为能够相对于被加工部件的加工面摇摆，在将上述研磨部件推压到上述被加工部件的状态下，使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相对运动，研磨上述被加工部件的加工面，该研磨装置具有：旋转传递部件，将来自旋转驱动源的转矩传递到上述研磨部件；以及旋转传递机构，具有层积橡胶部件，该层积橡胶部件以施加压力的方式夹在设置于上述旋转传递部件的第一安装部件与设置于上述研磨部件的第二安装部件之间，传递上述旋转传递部件的转矩，并且追随上述研磨部件的摇摆运动而变形。