[发明专利]SONOS存储器有效
申请号: | 201110435798.9 | 申请日: | 2011-12-22 |
公开(公告)号: | CN103178063A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 陈广龙;谭颖 | 申请(专利权)人: | 上海华虹NEC电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;H01L29/792 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201206 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | sonos 存储器 | ||
技术领域
本发明涉及一种半导体集成电路,特别是涉及一种SONOS存储器。
背景技术
现有SONOS存储器包括数据储存的主区域、备份区域以及外围电路。其中主区域的存储单元由SONOS晶体管组成;并且SONOS晶体管的尺寸满足使SONOS(硅-二氧化硅-氮化硅-二氧化硅-硅)晶体管的数据保存特性大于10年,由于数据保存时间长,SONOS晶体管擦写时间必须足够长如2毫秒。备份区域用于临时存储数据,要求工作速度要快,现有器件的备份区域的存储单元采用静态随机存储器(Static Random Access Memory,SRAM),备份区域采用SRAM能保证备份区域具有较快的工作速度。但是SRAM在掉电后会使保存的数据丢失,给用户带来不便。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种SONOS存储器,能提高器件的性能,能使器件的备份区域的数据在掉电后不会丢失。
为解决上述技术问题,本发明提供的SONOS存储器包括数据储存的主区域和备份区域。
所述主区域的存储单元由一个第一SONOS晶体管组成。
所述备份区域的存储单元由两个第二SONOS晶体管组成,两个所述第二SONOS晶体管连接形成SONOS闩锁晶体管结构;所述SONOS闩锁晶体管的两个所述第二SONOS晶体管的源极连接在一起,一个所述第二SONOS晶体管的栅极接一个字线、另一个所述第二SONOS晶体管的栅极接另一个的字线,一个所述第二SONOS晶体管的漏极接一个位线、另一个所述第二SONOS晶体管的漏极接另一个的位线。
所述第二SONOS晶体管的沟道长度大于所述第一SONOS晶体管的沟道长度,所述第二SONOS晶体管的沟道宽度大于所述第一SONOS晶体管的沟道宽度。
进一步的改进是,所述第一SONOS晶体管的尺寸采用最小设计规则,该最小设计规则的尺寸范围为所述第一SONOS晶体管的沟道长度小于1微米、沟道宽度小于1微米。
进一步的改进是,所述第二SONOS晶体管的尺寸范围为:沟道宽度大于0微米小于等于10微米、沟道长度大于0微米小于等于2微米。
本发明器件的备份区域也是采用SONOS晶体管作为存储单元,通过将备份区域的SONOS晶体管的尺寸增加,能够提高整个备份区域的工作速度,并使备份区域的工作速度大于主区域的工作速度,满足备份区域的快速工作的要求。同时本发明的备份区域采用SONOS晶体管后,尽管备份区域的SONOS晶体管的尺寸增加了,但是备份区域的SONOS晶体管仍然具有几小时~几天的数据保存能力,故能使的备份区域的存储的数据在掉电后不会丢失,从而能给用户带来很大的方便。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:
图1是本发明实施例SONOS存储器的版图示意图;
图2是本发明实施例SONOS存储器的主区域的存储单元的版图示意图;
图3是本发明实施例SONOS存储器的备份区域的存储单元的版图示意图;
图4是本发明实施例SONOS存储器的备份区域的存储单元的示意图;
图5是SONOS晶体管的擦除电流和擦除时间的关系曲线。
具体实施方式
如图1所示,是本发明实施例SONOS存储器的版图示意图。本发明实施例SONOS存储器包括数据储存的主区域1和备份区域2以及外围区域3。
如图2所示,是本发明实施例SONOS存储器的主区域1的存储单元的版图示意图。所述主区域1的存储单元由一个第一SONOS晶体管组成。所述第一SONOS晶体管包括栅极11、源区12和漏区13,所述栅极11、所述源区12和所述漏区13都分别通过金属接触14引出。所述栅极11和字线WL连接,所述源区12接源线SL,所述漏区13接位线BL。所述第一SONOS晶体管的沟道区域的尺寸包括沟道长度Length1和沟道宽度Width1。所述第一SONOS晶体管的沟道区域的尺寸设计采用最小设计规则,本发明实施例中所述第一SONOS晶体管沟道宽度/沟道长度为0.32微米/0.17微米。所述第一SONOS晶体管的擦写时间要足够长如2毫秒并满足使所述第一SONOS晶体管的数据保存特性大于10年。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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