[发明专利]一种精密工作台

权利要求书

1.一种精密工作台，包括两层台架，每层台架均包括与两侧的定导轨导向配合的气浮平台，其特征在于：所述气浮平台由三个气浮块上下叠加固连构成，各气浮块与定导轨导向配合的各个面上均设有正对定导轨配合面的出气孔，组成该气浮平台的所述气浮块的各出气孔在各自气浮块内部相互连通；各层台架均包括底板，所述定导轨固设在相应的底板上；上层所述台架的所述定导轨与下层所述台架的所述定导轨互相垂直；上层所述台架的底板即为下层所述台架的气浮平台，上层台架的定导轨的长度小于下层台架的两个定导轨之间的距离；使用时待测件固定在上层台架的气浮平台上，每个气浮块上的出气孔与同一个进气孔连通，进气孔位于气浮块在运动方向的端面上；定导轨与底板围成横截面为“］”形的导向槽；三个气浮块中最上方的气浮块上的出气孔朝上、最下方的气浮块上的出气孔朝下、中间气浮块上的出气孔朝向左右两侧。

2.根据权利要求1所述的一种精密工作台，其特征是：所述气浮平台的各气浮块的出气孔的外端口上均设有喷嘴。