[发明专利]一种精密工作台

说明书

本发明涉及一种精密工作台，包括至少一层的台架，每层台架均包括与对应定导轨导向配合的气浮平台，气浮平台为以下结构中的一种：第一种，气浮平台由一个气浮块构成，第二种，气浮平台由两个气浮块背靠背固连构成，两气浮块与定导轨导向配合的各个面上均设有作用于定导轨配合面的出气孔；第三种，气浮平台由三个气浮块叠加固连构成，各气浮块与定导轨导向配合的各个面上均设有作用于定导轨配合面的出气孔。本发明气浮块平台可由一个、两个或三个气浮块构成，气浮平台所需要的气浮块数量大大减少，装配结构非常简单，大大减小了装配误差，由于装配结构的简单，使得气浮平台强度增大，承载能力提高。

技术领域

本发明涉及一种精密工作台。

背景技术

目前，气浮工作台包括由单面具有出气孔的气浮块组成的气浮平台和矩形条组成的定导轨，导轨相对面上设有导向槽，所述气浮平台与导轨通过导向槽导向配合，此种装置存在以下几个缺陷：

一、需要加工的气浮块数量多，做一维运动时，需要至少四个气浮块，做二维运动时则需要在一维运动基础上再加一个一维运动，气浮块的数量的加倍，使其气浮块数量繁多，装配复杂；二、由于气浮块数量多，气浮块之间的装配存在一定的误差，众多气浮块装配使得装配误差进一步加大，进而降低了高精密测量的精度；三、气浮块的数量多，各气浮块之间装配后强度变小，承载能力小。

发明内容

本发明的目的在于提供一种精密工作台，以解决现有技术的工作台中由于动定导轨由多个单面气浮平台成而造成的装配复杂、误差大、承载能力小的问题。

为了解决上述问题，本发明的一种精密工作台，包括至少一层的台架，每层台架均包括与对应定导轨导向配合的气浮平台，所述气浮平台为以下结构中的一种：第一种，所述气浮平台由一个气浮块构成，该气浮块与所述定导轨导向配合的各个面上均设有正对定导轨对应配合面的出气孔，各出气孔在气浮块内部相互连通；第二种，所述气浮平台由两个气浮块背靠背固连构成，两所述气浮块与定导轨导向配合的各个面上均设有正对定导轨配合面的出气孔，两所述气浮块的各出气孔在各自气浮块内部相互连通；第三种，所述气浮平台由三个气浮块叠加固连构成，各气浮块与定导轨导向配合的各个面上均设有正对定导轨配合面的出气孔，组成该气浮平台的所述气浮块的各出气孔在各自气浮块内部相互连通。

所述三种结构中组成所述气浮平台的各气浮块的出气孔的外端口上均设有喷嘴。

所述各层台架均包括底板，所述定导轨固设在相应的底板上。

该精密工作台包括两层所述台架，上层所述台架的所述定导轨与下层所述台架的所述定导轨互相垂直。

上层所述台架的底板即为下层所述台架的气浮平台。

所述两台架上的气浮平台结构均为所述的第一种结构。

本发明中构成气浮平台的气浮块不仅仅在一个面上设有出气孔，因此气浮块平台可由一个、两个或三个气浮块构成，气浮平台所需要的气浮块数量大大减少，比如用四个面设有出气孔的气浮块作为气浮平台时，只需要一个气浮块即可，装配结构非常简单，大大减小了装配误差，由于装配结构的简单，使得气浮平台强度增大，承载能力提高。

附图说明

图1是本发明实施例1的立体结构示意图；

图2是本发明实施例1的主视图；

图3是本发明实施例1的左视图；

图4是本发明实施例1的俯视图；

图5是本发明实施例2中气浮平台的结构示意图；

图6是本发明实施例3中气浮平台的结构示意图；

图7是本发明实施例3中气浮平台的另一种结构示意图；

图8是本发明实施例4中气浮平台的结构示意图；