[发明专利]一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法

权利要求书

1.一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法；其特征在于含有以下步骤：

(1)清洗制绒槽：用纯水反复的清洗槽体冲洗掉槽中的杂质，如果没有清洗到中性，会极大的影响到制绒结果，影响制绒外观和电性能；

(2)确定混醇比例：确定制绒时候的混醇比例为(重量配比)：

乙醇0.3-0.5；

异丙醇0.8-1.5；

甘油1.2-2.1；

异丁醇0.6-0.8；

(3)提高槽体内温度到75℃：制造绒面，形成金字塔；

(4)制绒25分钟：保证金字塔的生长与形成；

(5)使用QDR快排清洗方式清洗：清洗表面残液防止药液残留；

(6)经过正常的其他段工艺扩散、PECVD、丝印后观察绒面和效率。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法，其特征在于步骤(1)中清洗制绒槽反复的清洗，清洗掉槽体内的杂质以及上次制绒残留。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法，其特征在于步骤(3)中所诉的制绒槽温度为50-100℃。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法，其特征在于步骤(4)中所诉的制绒时间为10-30mins。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法，其特征在于步骤(5)中所诉的QDR清洗次数为1-10次，清洗时间为80-400s。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法，其特征在于步骤(1)中所诉的清洗制绒槽工艺清洗次数为1-10次。