[发明专利]一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法有效
申请号: | 201110440961.0 | 申请日: | 2011-12-26 |
公开(公告)号: | CN102544206A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 孙良欣;韦钧瀚 | 申请(专利权)人: | 霞浦吉阳新能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人: | 毛燕生 |
地址: | 355100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 晶体 硅制绒 工艺 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法,属于太阳电池制造技术领域。
背景技术
太阳能电池制绒段通过制造金字塔来提高光的陷光率,常规的制绒工艺使用氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠为制绒体系,其中异丙醇有利于绒面金字塔生成的作用。但是异丙醇存在刺激气味大、挥发性强、工艺窗口过小、制绒后金字塔不均匀、陷光率低的不足,而本发明中提到的混醇工艺,它具有无明显刺激气味、可长久稳定保存、增加工艺窗口、提高电性能的优点,具体由以下几点说明:
(1)在混醇比例中有甘油加入,甘油的味道可以掩盖异丙醇和丁醇的味道,且甘油对人没有负面影响,利于生产使用;
(2)混醇的分子系数大于单纯异丙醇体系分子系数,可以更加稳定的保存不易挥发。
(3)混醇同样有表面活性剂用途,制绒过程中可以减缓气泡溢出的时间。对制绒反应本身而言,它能提供反应中所需的-OH,对制绒反应很强的促进作用,加速制绒反应(这是在短时间让绒面制成与稳定的保证),但是制绒过程中由于气泡溢出减缓,金字塔会向深、小方面发展,更加有利光的吸收,降低反射率从而提高电性能。
传统工艺的金字塔均匀性很低,随温度的变化,深度以及个数都有不同;电性能受到很大的影响。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法。
本发明的目的是使用混醇替代异丙醇,通过溶液配比,增加工艺窗口,提高电性能;提高金字塔的均匀性,大幅度提高金字塔的质量。
本发明的目的通过以下的技术予以实现:
一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法;含有以下步骤:
(1)清洗制绒槽:用纯水反复的清洗槽体冲洗掉槽中的杂质,如果没有清洗到中性,会极大的影响到制绒结果,影响制绒外观和电性能;
(2)确定混醇比例:确定制绒时候的混醇比例为(重量配比):
乙醇0.3-0.5;
异丙醇0.8-1.5;
甘油1.2-2.1;
异丁醇0.6-0.8;
(3)提高槽体内温度到75℃:制造绒面,形成金字塔;
(4)制绒25分钟:保证金字塔的生长与形成;
(5)使用QDR快排清洗方式清洗:清洗表面残液防止药液残留;
(6)经过正常的其他段工艺扩散、PECVD、丝印后观察绒面和效率。
本发明步骤(1)中所诉的清洗制绒槽工艺清洗次数为1-10次,直到清洗到中性。如果有残液残留,会直接影响到电池片的外观和最终电性能。
本发明步骤(2)中所诉的混醇比例为:
乙醇0.3-0.5;
异丙醇0.8-1.5;
甘油1.2-2.1;
异丁醇0.6-0.8;
如果没有在合适的配比内,电池片没有绒面,没有金字塔。
本发明步骤(3)中所诉的制绒槽温度为50-100℃。如果没有在合适的温度内,电池片绒面会不均匀,金字塔大小偏差大,影响折射率。
本发明步骤(4)中所诉的制绒时间为10-30mins。如果没有在合适的制绒时间内,不会形成金字塔,或者是金字塔过腐蚀,影响最终电性能.
本发明步骤(5)中所诉的QDR清洗次数为1-10次,时间为80-400s。混醇是弱碱性溶剂,如果没有有效的清洗去除制绒后的残液,将会对后段的生产有很大的负面影响。
与传统氢氧化钠、硅酸钠、异丙醇体系相比较,本发明金字塔深度能在1-5微米,金字塔覆盖面积95%以上,最终电性能能提高0.2%-0.25%。
具体实施方式
本发明实施例1:种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法;包括以下的步骤:
(1)反复清洗制绒槽至中性;
(2)配制溶液;含有氢氧化钠1500g,硅酸钠800g-850g和按照组分重量比配制溶液:
乙醇0.5;异丙醇1.5;甘油1.2;异丁醇0.6;
(3)75℃;
(4)反应时间20mins;
(5)使用QDR(纯水)快排喷淋清洗,在6秒内排清纯水,清洗硅片表面附着物和制绒残液,喷淋清洗200s再提出;
(6)取出硅片后烘干,观察绒面以及称重检测;
(7)正常工艺扩散,PECVD,丝印后观察绒面和电性能。
本发明实施例2
本发明实施例2:一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法;包括以下的步骤:
(1)反复清洗制绒槽至中性;
(2)配制溶液;
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