[发明专利]光阻组合物及图案形成方法

权利要求书

1.一种化学增幅型光阻组合物，其在化学增幅型光阻组合物的制备时至少配合有1种或2种以上的氧化胺化合物，该氧化胺化合物是通过氧化制备并且具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的氢的氧化胺化合物，但排除氧化胺的氮原子被包含于芳香环的环状结构的情形，并且该具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的氢的氧化胺化合物的氮原子具有分别键结于不同碳原子的3个单键，其特征在于，

该化学增幅型光阻组合物，作为主要成分，进一步含有：

(A2)碱可溶性且通过酸催化剂而变成碱不溶性的基础树脂、及/或碱可溶性且通过酸催化剂而与交联剂反应并变成碱不溶性的基础树脂与交联剂的组合；

(B)酸产生剂，

并且，该化学增幅型光阻组合物，在曝光后通过碱性显影液进行显影，能够获得负型图案。

2.如权利要求1所述的化学增幅型光阻组合物，其中，前述具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的氢的氧化胺化合物，是以下述一般式(2)表示的具有羧基的氧化胺化合物，

式中，R₁、R₂分别是碳数1～20的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～10的羟烷基、碳数2～10的烷氧基烷基、碳数2～10的酰氧基烷基、碳数1～10的烷硫基烷基的任一种；又，R₁与R₂也可键结而形成环状结构；R₃是氢、碳数1～20的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～10的羟烷基、碳数2～10的烷氧基烷基、碳数2～10的酰氧基烷基、碳数1～10的烷硫基烷基、卤素基的任一种；R₄则是碳数0～20的直链状、支链状或环状的亚烷基、碳数6～20的亚芳基。

3.如权利要求1所述的化学增幅型光阻组合物，其中，进而含有1种或2种以上的以下述一般式(4)表示的胺化合物，

式中，R₇、R₈、R₉分别是氢原子、碳数1～20的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～10的羟烷基、碳数2～10的烷氧基烷基、碳数2～10的酰氧基烷基、碳数1～10的烷硫基烷基的任一种；又，R₇、R₈、R₉中的2个也可键结而形成环状结构或是芳香族环。

4.如权利要求2所述的化学增幅型光阻组合物，其中，进而含有1种或2种以上的以下述一般式(4)表示的胺化合物，

式中，R₇、R₈、R₉分别是氢原子、碳数1～20的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～10的羟烷基、碳数2～10的烷氧基烷基、碳数2～10的酰氧基烷基、碳数1～10的烷硫基烷基的任一种；又，R₇、R₈、R₉中的2个也可键结而形成环状结构或是芳香族环。

5.如权利要求1所述的化学增幅型光阻组合物，其中，进而含有1种或2种以上的以下述一般式(5)表示的氧化胺化合物，

式中，R₇、R₈、R₉分别是氢原子、碳数1～20的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～10的羟烷基、碳数2～10的烷氧基烷基、碳数2～10的酰氧基烷基、碳数1～10的烷硫基烷基的任一种；又，R₇、R₈、R₉中的2个也可键结而形成环状结构或是芳香族环。