[发明专利]涂布方法、涂布装置以及存储介质有效

专利信息
申请号: 201110446759.9 申请日: 2011-12-28
公开(公告)号: CN102592969A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 宫田亮;原圭孝;藤村浩二 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 方法 装置 以及 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种涂布方法,其将溶剂中溶解有涂布膜的成分的涂布液从喷嘴供给至基板来形成涂布膜,该涂布方法的特征在于,

使用以在先批次用的喷嘴和随后批次用的喷嘴通过共同的移动机构成为一体并在液处理单元的上方与待机区域之间移动的方式构成的装置,包括:

对被搬入至第1液处理单元的在先批次的最后的基板从在先批次用的喷嘴供给涂布液的工序;

之后,将在先批次用的喷嘴与随后批次用的喷嘴一起移动至待机区域的工序;

在进行所述移动工序的过程中,使在先批次用的喷嘴吸入气氛的气体,在该喷嘴内形成上侧气体层的工序;

在所述待机区域将溶剂吸入在先批次用的喷嘴内的工序;

随后批次的开头的基板被搬入与所述第1液处理单元不同的第2液处理单元后,使随后批次用的喷嘴与在先批次用的喷嘴一起移动至所述随后批次的开头的基板的上方的工序;

之后,从随后批次用的喷嘴向随后批次的开头的基板供给涂布液的工序;和

在进行将溶剂吸入所述在先批次用的喷嘴的工序后,使在先批次用的喷嘴吸入气氛的气体,在该喷嘴内形成下侧气体层,形成由上侧气体层与下侧气体层夹持溶剂层的状态的工序。

2.如权利要求1所述的涂布方法,其特征在于:

进行在在先批次用的喷嘴内形成下侧气体层的工序的过程中,进行与使随后批次用的喷嘴和在先批次用的喷嘴一起从待机区域移动至所述随后批次的开头的基板的上方的工序。

3.一种涂布方法,其将溶剂中溶解有涂布膜的成分的涂布液从喷嘴供给至基板来形成涂布膜,该涂布方法的特征在于,

使用以在先批次用的喷嘴和随后批次用的喷嘴通过共同的移动机构成为一体并在液处理单元的上方与待机区域之间移动的方式构成的装置,包括:

对被搬入至第1液处理单元的在先批次的最后的基板从在先批次用的喷嘴供给涂布液的工序;

之后,将在先批次用的喷嘴与随后批次用的喷嘴一起移动至待机区域的工序;

在供给所述涂布液的工序之后,使在先批次用的喷嘴吸入气氛的气体,在该喷嘴内形成上侧气体层的工序;

在所述待机区域将溶剂吸入在先批次用的喷嘴内的工序;

随后批次的开头的基板被搬入与所述第1液处理单元不同的第2液处理单元后,使随后批次用的喷嘴与在先批次用的喷嘴一起从待机区域移动至所述随后批次的开头的基板的上方的工序;

在进行所述移动的工序同时,使在先批次用的喷嘴吸入气氛的气体,在该喷嘴内形成下侧气体层,形成由上侧气体层和下侧气体层夹持溶剂层的状态的工序;和

在随后批次用的喷嘴移动至所述随后批次的开头的基板的上方后,从随后批次用的喷嘴向该基板供给涂布液的工序。

4.如权利要求1~3的任一项所述的涂布方法,其特征在于:

使在先批次用的喷嘴与随后批次用的喷嘴一起移动至待机区域的过程中,将溶剂存积于在先批次用的喷嘴的待机区域。

5.如权利要求1~4的任一项所述的涂布方法,其特征在于:

当在先批次用的喷嘴完成与第1液处理单元不同的其它的液处理单元内的在先批次的倒数第二块基板的涂布而返回至待机区域时,在待机区域将溶剂从随后批次用的喷嘴喷出。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社,未经东京毅力科创株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110446759.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top