[发明专利]用于校正共聚焦扫描显微镜中的图像失真的方法

权利要求书

1.一种用于确定用于操作共聚焦扫描显微镜(20)的扫描单元(28)的扫描坐标值(φ_n，θ_n)的方法，其中

借助于笛卡尔图像坐标值(X_n，Y_n)到球面坐标系统的坐标转换，根据样本(32)的要创建的图像(60)的像点的笛卡尔图像坐标(X_n，Y_n)确定球面扫描坐标值(φ_n，θ_n)，以及

根据该球面扫描坐标值(φ_n，θ_n)来操作该扫描单元(28)。

2.根据权利要求1的方法，其中当确定该球面扫描坐标值(φ_n，θ_n)时考虑该扫描显微镜(20)的不同的可能变焦步进。

3.根据权利要求2的方法，其中该不同的变焦步进是通过将该像点彼此之间的间隔预定义为与该变焦步进相关来考虑的。

4.根据在先权利要求之一的方法，其中借助于该坐标转换来确定第一球面扫描坐标值(φ_n，θ_n)，并且通过对该第一扫描坐标值(φ_n，θ_n)进行插值来确定第二球面扫描坐标值(φ_n，θ_n)。

5.根据在先权利要求之一的方法，其中预定义扫描坐标值是基于该球面扫描坐标值(φ_n，θ_n)来校正的。

6.一种用于确定用于操作共聚焦扫描显微镜(20)的扫描单元(28)的校正扫描坐标值(φ_nK，θ_nK)的方法，其中

将照明光束(24)经由该扫描显微镜(20)的扫描单元(28)引导到参考样本(32)上，

根据预定义扫描坐标值(φ_n，θ_n)来驱动该扫描单元(28)，使得该照明光束(24)光学扫描该参考样本(32)，

根据预定义扫描坐标值(φ_n，θ_n)来测出来自该参考样本(32)的检测光，

将该预定义扫描坐标值(φ_n，θ_n)与该参考样本(32)的要确定的图像(60)的像点的图像坐标值(X_n，Y_n)关联起来，

基于在对应的预定义扫描坐标值(φ_n，θ_n)处测出的该检测光(34)确定在该图像坐标值(X_n，Y_n)处的像点，

基于该确定的像点创建该参考样本(32)的图像，

将该参考样本(32)的该图像(60)与该参考样本(32)进行比较，并且

根据比较校正该预定义扫描坐标值(φ_n，θ_n)。

7.根据权利要求6的方法，其中该参考样本(32)的该图像(60)以该扫描显微镜(20)的不同的变焦步进来获取，并且其中根据对应的变焦步进将该预定义扫描坐标值(φ_n，θ_n)进行校正。