[发明专利]外观检验装置及其执行方法无效
申请号: | 201110449954.7 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN103185729A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 郑竹岚 | 申请(专利权)人: | 百励科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01N21/898 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 中国台湾台北市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外观 检验 装置 及其 执行 方法 | ||
1. 一种外观检验装置,其特征在于,包括:
数个取像单元,分别撷取数个待测集成电路的表面影像;
一光源,用于提供所述取像单元撷取所述待测集成电路的表面影像时所需的光线;
一同步单元;
一影像分析判断单元,所述同步单元使所述取像单元所撷取的表面影像同步传送至所述影像分析判断单元,所述影像分析判断单元根据所撷取的表面影像判断所述待测集成电路的表面是否有瑕疵;
一马达;以及
一输送单元,所述马达接收所述影像分析判断单元所传送的控制讯号并根据所述控制讯号驱动所述输送单元移动。
2. 如权利要求1所述的外观检验装置,其特征在于,所述等取像单元为电荷耦合组件。
3. 如权利要求1所述的外观检验装置,其特征在于,所述光源选自卤素灯、氙灯、荧光灯及发光二极管灯所构成群组中的一种。
4. 如权利要求1所述的外观检验装置,其特征在于,所述影像分析判断单元储存一待测集成电路参考影像,借由分析及比对所述取像单元所撷取的表面影像是否与待测集成电路参考影像相同,判断所述等待测集成电路表面是否破损。
5. 如权利要求1所述的外观检验装置,其特征在于,所述影像分析判断单元借由分析所述取像单元所撷取的表面影像的灰阶值,判断所述待测集成电路表面的文字或标志是否正确、或是否有微尘粒子。
6. 一种外观检验装置的执行方法,所述外观检验装置包括数个取像单元、一同步单元、一影像分析判断单元、一马达以及一输送单元,其特征在于,所述执行方法包括:
所述取像单元分别撷取数个待测集成电路的表面影像;
所述同步单元使所述取像单元所撷取的表面影像同步传送至所述影像分析判断单元;
所述影像分析判断单元根据所撷取的表面影像判断所述待测集成电路的表面是否有瑕疵;以及
所述马达接收所述影像分析判断单元所传送的控制讯号,并根据所述控制讯号驱动所述输送单元移动。
7. 如权利要求6所述的外观检验装置的执行方法,其特征在于,所述等取像单元为电荷耦合组件。
8. 如权利要求6所述的外观检验装置的执行方法,其特征在于,所述影像分析判断单元储存一待测集成电路参考影像,借由分析及比对所述取像单元所撷取的表面影像是否与待测集成电路参考影像相同,判断所述待测集成电路表面是否破损。
9. 如权利要求6所述的外观检验装置的执行方法,其特征在于,所述影像分析判断单元借由分析所述取像单元所撷取的表面影像的灰阶值,判断所述等待测集成电路表面的文字或标志是否正确、或是否有微尘粒子。
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