[发明专利]一种具有接地环的e/LQFP平面封装件及其生产方法有效
申请号: | 201110455061.3 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN102522392A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 李习周;慕蔚;郭小伟;李存满 | 申请(专利权)人: | 天水华天科技股份有限公司;华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L23/495;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 李琪 |
地址: | 741000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 接地 lqfp 平面 封装 及其 生产 方法 | ||
1.一种具有接地环的e/LQFP平面封装件,包括载体(1),载体(1)上粘贴有一至两块IC芯片, IC芯片与内引脚(6)通过键合线相连接,内引脚(6)与外引脚(15)相连接,其特征在于,该平面封装件还包括环形的接地环(2),接地环(2)下端面的位置高于载体(1)上端面的位置,载体(1)通过筋板与接地环(2)相连接;载体(1)不粘接IC芯片的端面上设置有防溢料环(5),载体(1)上固封有塑封体(14),接地环(2)、内引脚(6)、键合线和IC芯片均封装于塑封体(14)内,外引脚(15)位于塑封体(14)外,所有的外引脚(15)处于同一平面,所述载体(1)的下端面位于塑封体(14)外,或者载体(1)的下端面也封装于塑封体(14)内。
2.根据权利要求1所述的具有接地环的e/LQFP平面封装件,其特征在于,所述载体(1)为长方体,接地环(2)为长方体环,载体(1)的四个侧壁上均设置有多个凸台(7),相邻两凸台(7)之间设置有凹坑(8),凸台(7)与接地环(2)不接触,载体(1)长边与相对的接地环(2)长边之间通过两根连筋(3)相连接,载体(1)短边与相对的接地环(2)短边之间通过一根连筋(3)相连接;载体(1)的四角分别通过边筋(4)与接地环(2)的四角相连,接地环(2)的四个角上分别设置有锁定孔(9);载体(1)不粘接IC芯片的端面设置有防溢料环(5)。
3.根据权利要求1所述的具有接地环的e/LQFP平面封装件,其特征在于,所述的接地环(2)为正方体环,载体(1)为正方体,载体(1)和接地环(2)相对的边之间通过两根连筋(3)相连接,载体(1)的四角分别通过边筋(4)与接地环(2)的四角相连;载体(1)不粘接IC芯片的端面设置有防溢料环(5)。
4.一种权利要求1所述具有接地环的e/LQFP平面封装件的生产方法,其特征在于,该生产方法具体按以下步骤进行:
步骤1:晶圆减薄
用现有工艺方法对晶圆进行减薄,得到最终减薄厚度为150μm~200μm的减薄晶圆;减薄时采用防止芯片翘曲工艺;
步骤2:划片
8吋及8吋以下的减薄后的晶圆采用DISC 3350划片机或双刀划片机进行划片;8吋到12吋的减薄后的晶圆采用A-WD-300TXB划片机进行划片;划片时,控制划片进刀速度≤10mm/s,并采用防碎片、防裂纹划片工艺软件控制技术;
步骤3:上芯
采用接地环(2)和载体(1)组成带接地环的引线框架,接地环(2)下端面的位置高于载体(1)上端面的位置,接地环(2)和载体(1)通过筋板相连接;
对于单芯片封装件:
若采用导电胶或绝缘胶粘贴IC芯片,通过导电胶或绝缘胶将一个IC芯片粘贴在载体(1)上,粘完一条引线框架送至收料盒;粘完本批全部IC芯片后,将半成品引线框架盒送烘烤,在175℃下,采用防离层烘烤工艺烘烤3小时;
若采用胶膜片粘贴IC芯片,则将贴有胶膜片的IC芯片直接放在载体(1)上进行粘贴,粘完一条引线框架送至收料盒;依同样方法粘完本批全部IC芯片后,将半成品引线框架盒送烘烤,在150℃下,采用防离层烘烤工艺烘烤3小时;
对于双芯片封装件:
2a.第一次上芯
采用与单芯片封装件上芯相同的方法在载体(1)上粘贴一个IC芯片,并采用与单芯片封装件上芯后相同工艺进行烘烤;
2b.第二次上芯
采用与单芯片封装件上芯相同的方法在载体(1)上粘贴另一个IC芯片,使两个IC芯片并排设置,并采用与单芯片封装件上芯后相同的工艺进行烘烤;
步骤4:压焊
对于单芯片封装件
采用现有普通框架e/LQFP压焊的工艺进行压焊;
对于双芯片封装件
先压焊一个IC芯片与接地环(2)间的键合线,再压焊两个IC芯片之间的键合线,然后压焊已压焊键合线的IC芯片与内引脚(6)间的键合线,最后压焊另一个IC芯片与内引脚间的键合线;
步骤5:采用与现有e/LQFP普通产品塑封相同工艺进行塑封;载体(1)下端面封装于塑封体内,或者载体(1)下端面露出塑封体外;
步骤6:采用普通LQFP的后固化工艺封装进行后固化;
步骤7:采用与现有普通e/LQFP封装相同的工艺切中筋;
步骤8:采用与现有普通e/LQFP封装相同的工艺进行电镀;
步骤9:采用与现有普通e/LQFP封装相同的工艺,对电镀后的塑封件依次进行打印、测试、检验、入库,制得具有接地环的e/LQFP平面封装件。
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