[发明专利]一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置

权利要求书

1.一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，主要包含：一反应制程腔体、一气体导引管路、一导引管路框架所组成，通过外接入之气体透过气体导引管所设置的气体导入接头进入，气体导引管路上设有依照气体导入管路长度分布平均的小孔作为气体喷出口，形成一侧边向下喷出的动作，导引管路框架支撑气体导引管路，使其能水平置放于导引管路框架上，使得制成气体能有效集中于反应区，完成一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，藉此，可达到有效均匀分布气体于镀膜制程腔内部，完成均匀分布之电浆粒子内。

2.根据权利要求1所述之一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，其中该气体导引柱设有一个以上的气体引入接头，该气体引入接头系将气体引入至反应腔体内部，形成电浆粒子。

3.根据权利要求1所述之一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，其中气体导引管路上设有间距50mm的小孔，孔径 05mm。

4.根据权利要求1所述之一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，其中导引管路框架固定气体导引管路水平于导引管路框架。