[发明专利]载物装置及曝光装置有效
| 申请号： | 201110459299.3 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103186054A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 伍强;郝静安 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 曝光 | ||
1.一种载物装置，包括：
载物台，所述载物台包括第一表面、与第一表面相对的第二表面、以及位于第一表面和第二表面之间的侧壁，其特征在于，所述载物台还包括连接所述侧壁与第一表面和第二表面的交界区，所述交界区呈弧形，减小载物台运动时空气对载物台的阻力和空气产生的扰动。
2.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述弧形为圆弧、椭圆弧、对数曲线弧、指数曲线弧、二次曲线弧、抛物曲线弧的一种。
3.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述弧形为圆弧、椭圆弧、对数曲线弧、指数曲线弧、二次曲线弧、抛物曲线弧的两种或两种以上的组合。
4.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述载物台的侧壁设置有载物台位置测量装置。
5.如权利要求4所述的载物装置，其特征在于，所述测量装置为光干涉计。
6.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述载物台下部包括用于使载物台浮起的空气垫装置。
7.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述载物台第一表面包括用于固定晶圆的吸盘或晶圆夹持器。
8.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述第一表面和第二表面的面积大于晶圆的面积。
9.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述弧形的凸起面远离载物台的中心。
10.一种曝光装置，其特征在于，包括：至少一个载物台，所述载物台包括第一表面、与第一表面相对的第二表面、位于第一表面和第二表面之间的侧壁、以及连接所述侧壁与第一表面和第二表面的交界区，所述交界区呈弧形，所述第一表面用于放置晶圆，曝光装置对放置在第一表面上的晶圆进行曝光。
11.如权利要求10所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光装置为浸入式曝光装置。
12.如权利要求10所述的曝光装置，其特征在于，所述载物台的个数为两个。
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