[实用新型]一种酸性废蚀刻液的循环再生装置

权利要求书

1.一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：包括酸性蚀刻机（1）、通过连接管道与所述酸性蚀刻机（1）上酸性废蚀刻液出口（11）相连的用于将酸性废蚀刻液中的铜进行萃取和反萃取的铜萃取-反萃取机构（2）、与酸性蚀刻机（1）上蚀刻液入口（12）和所述铜萃取-反萃取机构（2）相连的蚀刻液组份调节机构（3）、与所述铜萃取-反萃取机构（2）相连的电解沉积铜机构（4）。

2.根据权利要求1所述的一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：所述的铜萃取-反萃取机构（2）上设有酸性废蚀刻液入口（21）、铜萃取剂入口（22）、反萃取剂入口（23）及提铜废蚀刻液出口（24）、铜萃取剂出口（25）和含铜反萃取剂出口（26），所述铜萃取剂出口（25）通过连接管道与铜萃取剂入口（22）相连，所述含铜反萃取剂出口（26）通过上述电解沉积铜机构（4）与反萃取剂入口（23）相连，所述提铜废蚀刻液出口（24）通过连接管道与蚀刻液组分调节机构（3）相接。

3.根据权利要求2所述的一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：所述铜萃取-反萃取机构（2）上的酸性废蚀刻液入口（21）与酸性蚀刻机（1）的酸性废蚀刻液出口（11）之间的连接管道上设有酸性废蚀刻液中转缸（5）和控制阀（51）。

4.根据权利要求2所述的一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：所述铜萃取-反萃取机构（2）上的铜萃取剂出口（25）与铜萃取入口（22）之间的连接管道上设有萃取剂中转缸（6）和控制泵（61）或阀门。

5.根据权利要求2或3或4所述的一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：所述铜萃取-反萃取机构（2）上的含铜反萃取剂出口（26）和反萃取剂入口（23）与上述电解沉积铜机构（4）上设置的含铜反萃取剂入口（41）和反萃取剂出口（42）之间的连接管道上分别设有含铜反萃取剂中转缸（7）和反萃取剂中转缸（8）、控制泵（71）、（81）或阀门。

6.根据权利要求1所述的一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：所述铜萃取-反萃取机构（2）为箱式-澄清萃取槽，其中萃取级数为1～8级，反萃取级数为1-3级。

7.根据权利要求1所述的一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：所述蚀刻液组分调节机构（3）为其内装置有搅拌机（31）的调配缸，且所述调配缸与酸性蚀刻机（1）的连接管道上设有控制阀（32）。

8.根据权利要求1所述的一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于：所述电解沉积铜机构（4）为其内设有多个小槽的电解槽4，所述小槽由多个用作阳极的铅板和用作阴极的紫铜片并联组成，各小槽之间串联连接。