[实用新型]内加热金属型高真空油扩散泵

权利要求书

1.内加热金属型高真空油扩散泵，包括外壁有冷却水管的泵壳体，泵壳体内有泵芯，其特征在于挡油片组件(3)安置在连接机械泵的排气口前级管内，泵芯组件(2)直立安坐在钩板(25)槽内，挡油帽组件(1)由挡油帽的冷却水管将挡油帽悬持在泵芯上方，挡油帽的冷却水管固定在泵壳体上，伞形挡油帽下同心安置一级至三级喷嘴帽、一级至四级导流管，由通丝(19)竖向连接外缘固定；泵芯底部设置加热装置(5)，内置加热器的套管呈放射状排布，并浸在真空油内、套管口焊在泵壁外；安置在泵壳体外的控制箱(7)通过温控电路分别连接加热器和报警器，外壁冷却水管上安置水温传感器(8)，并通过温控电路与报警器相连；泵壳体下部设观察窗组件(6)。

2.根据权利要求1所述的内加热金属型高真空油扩散泵，其特征在于泵芯组件(2)，一级喷嘴帽(13）为伞形壳体，圆心有柱体，其圆心与盆形一级喷嘴座(14)的圆心螺纹旋接，一级喷嘴座(14)固定在一级导流管(15)上端，一级导流管(15)下端焊在伞面形的二级喷嘴帽(16)的圆心处，二级导流管(17)在二级喷嘴帽(16)和三级喷嘴帽(18)之间，三级喷嘴帽(18)下有三级喷嘴下喷帽(20)，均由通丝(19)沿各件外壁上下连为一体，并由螺栓固定，置于四级导流管(21)上缘上，四级导流管(21)下缘直立坐在钩板(25)环槽内，所述各件形成同心空腔的泵芯，各级帽相邻的环形缝隙为喷嘴。

3.根据权利要求1所述的内加热金属型高真空油扩散泵，其特征在于挡油帽组件(1)的挡油帽为伞状，其外缘均布一圈等径的孔，挡油帽冷却水管在挡油帽下壁沿孔的内、外周呈双环形与挡油帽焊为一体，冷却水管两端固定在泵壳体上，并与泵壳体外的水嘴相接。

4.根据权利要求1所述的内加热金属型直腔高真空扩散泵，其特征在于加热装置(5)，将与接线柱相连的加热器(28)插入有盲端的套管(29)内，套管(29)外壁为径向排布的加热片，多个套管(29)在泵芯底部密封腔内呈放射状排布，并浸在真空油内、套管(29)口焊在泵壁外；加热器(28)与接线柱导线相连的部位露在套管(29)口外，加热器(28)的接线柱在泵壳体内沿圆周安置；一只测温电偶(26)、一只控温电偶(27)的根端焊在泵壁上，主体浸在油内。

5.根据权利要求1所述的内加热金属型直腔高真空扩散泵，其特征在于观察窗组件(6)，垂直焊在泵壁下部、泵底上部的三通管体另一端设置观察窗(6)、上端为注油口(34)、直角端设放油口(37)；观察窗(6)由超高法兰(30)、两个密封垫(32)、固定玻璃视镜(31)及后法兰(33)通过螺栓紧固为一体；三通管中径向呈直角分布两个口，一个为注油口(34)、另一个为放油口(37)，两端口结构相同，均由密封垫(35)两侧的上、下法兰(36)固定。

6.根据权利要求1所述的内加热金属型高真空油扩散泵，其特征在于挡油片组件(3)包括圆盘形前级挡油圈组件(22)，在其一侧圆心处固定挡油杆(23)，挡油杆(23)将三个挡片(24)同心等距间隔固定；挡片(24)圆面有孔的和无孔的相隔设置。

7.根据权利要求1所述的内加热金属型高真空油扩散泵，其特征在于钩板(25)为环槽形，直角内圆平面与锐角构成槽，锐角外展环边并以钝角折为平行于槽的平面沿，平面沿高于内圆直角的立边；钩板(25)的平面沿焊在泵内壁下方。

8.根据权利要求1所述的内加热金属型高真空油扩散泵，其特征在于控制电路：进线三相380V，多个加热器(28)有三个加热组开关(L1~L3)，通过各继电器(J1~J3)与各组断电器连通，断电器每组的空气开关接续为(1F2~6F2)、(1F3~6F3)，每组的六个断电器另一端串联后分别连接继电器(46)的三个继电器(J1、J2、J3)，三个加热器组开关接点(L1~L3)接三相电源；空气开关(F1~F6)另一端通过串连的六组电阻(1R1~6R3)，每组有三个电阻(R1~R3)，并联至三相电源(102)；与电源(103)连接的水温超界开关(K20)另一端连接经变压器(B1)后的(12V)电源正极、开关(K20)另一端通过电源(103)接中间继电器(J14)；水温超界开关(K20)与蜂鸣器(HA2)之间串联为继电器散热的两个风扇(F1)，变压器(B1)另一端的线路与电源N接点和蜂鸣器(HA1)相连，第三点与加热器开关(L1)相连；中间继电器(J14)的脚(1)与控油温的温度表(W1)脚(8)相连，脚(4)接三相电源火线(101)、脚(6)接三相电源(103)、脚(7)接加热器组的三个继电器(J1~J3)正极；控油温电路的温度表(W1)的脚1~3串联与温度表和传感器相通的热电偶(R19)、脚(7)接蜂鸣器(HA2)、脚(10)接蜂鸣器(HA1)与经变压器(B1)的电源N接点的线、脚(9)接与继电器(J1)负极相接的加热器开关(L1)；接蜂鸣器(HA1)的继电器(J13)有三极管整流桥(AB1)，其输出一端接三相电源、另一端接蜂鸣器(HA1)与接线端子排(38)中电源N接点；接线端子排(38)中蜂鸣器的接点(PT)、接点(100)及水温表控制插口②是与用户温控仪表相连的控油温电路，构成与用户温控仪表相接的三条输入端，(PE)接点为泵体接地，电源N接点连接12V电源负极和蜂鸣器(HA1)，油温超界时电路断相报警，电源220V接油温表和水温表电源插口、直流电+12V接点、-12V接点、电源端(102、103)、蜂鸣器的(PT)、(100)和①接点以及六组电阻，每组中有三个接点。