[实用新型]双涡电流单电容非接触式厚度测量装置有效
| 申请号： | 201120023438.3 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN202008346U | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 卓家轩 | 申请（专利权）人： | 财团法人精密机械研究发展中心 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电流 电容 接触 厚度 测量 装置 | ||
1.一种双涡电流单电容非接触式厚度测量装置，用以测量一个待测物的厚度，其特征在于：该测量装置包含一个导电座、一个第一涡电流感测器、一个第二涡电流感测器及一个电容式感测器，该导电座位于该待测物下方以承载该待测物，该第一涡电流感测器设置于该待测物上方以测量一段第一距离，该第一距离为该第一涡电流感测器朝下相对该导电座顶面的距离，该第二涡电流感测器间隔该第一涡电流感测器设置于该待测物上方并用以测量一段第二距离，该第二距离为该第二涡电流感测器朝下相对该导电座顶面的距离，该电容式感测器设置于该第一涡电流感测器及该第二涡电流感测器之间并用以测量一段第三距离，该第三距离为该电容式感测器朝下相对该待测物顶面的距离。
2.根据权利要求1所述的双涡电流单电容非接触式厚度测量装置，其特征在于：该测量装置还包含一个分别电连接该第一涡电流感测器、该第二涡电流感测器及该电容式感测器的计算模组，该计算模组于接收该第一距离、该第二距离及该第三距离后计算一个估测厚度值。
3.根据权利要求2所述的双涡电流单电容非接触式厚度测量装置，其特征在于：该第一涡电流感测器、该第二涡电流感测器及该电容式感测器的底面为同一平面。
4.根据权利要求3所述的双涡电流单电容非接触式厚度测量装置，其特征在于：该测量装置还包含一个连接并带动该第一涡电流感测器、该第二涡电流感测器及该电容式感测器沿一个轴向移动的滑座，及一个供该滑座可移动地连接的滑轨组。
5.根据权利要求4所述的双涡电流单电容非接触式厚度测量装置，其特征在于：该第一涡电流感测器及该第二涡电流感测器分别与该电容式感测器的距离相等。
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