[实用新型]一种半导体芯片输送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及输送设备领域，更具体的说涉及一种在输送过程中能有效对半导体芯片进行夹制，并可适用于不同厚度半导体芯片的输送装置。

背景技术

半导体芯片，是在半导体片材上进行浸蚀、布线而制成的能实现某种特定功能的半导体器件。由于半导体芯片的生产制造过程包括多个工序，为了实现流水线作业而提高生产效率，相邻两个工序之间都设置有输送装置，该输送装置能将上一道工序的半导体芯片运输到下一道工序的指定位置，从而确保各个工序之间能紧密配合。

现有的输送装置，一般包括主动轮、从动轮以及绕设在主动轮和从动轮之间的输送带，该主动轮还传动连接有驱动电机，并在驱动电机的带动下而使得主动轮能呈现为转动，该主动轮通过输送带而带动从动轮转动，该输送带则用于托住半导体芯片，并将半导体芯片输送到从动轮所在的方向。

但是，上述现有输送装置仍至少具有如下缺陷：

一、该半导体芯片在运输过程中仅下端面被输送带撑托，而无法对半导体芯片进行固定，故在输送过程中容易引发半导体芯片掉落的缺陷；

二、该半导体芯片在运输过程中，容易因为本身重力的原因而使得主动轮和从动轮之间输送带下垂，从而影响到输送装置的输送效率，并由此很容易引发半导体芯片聚堆的隐患，尤其是对于主动轮和从动轮之间距离较长的情形。

有鉴于此，本发明人针对现有输送装置的上述缺陷深入研究，遂有本案产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片输送装置，以解决现有技术输送装置容易引发半导体芯片掉落以及输送效率较低的问题。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种半导体芯片输送装置，其中，包括机架、固定在机架上的驱动电机以及均呈间隔并排设置的多个支撑轮和多个压紧轮，每一压紧轮对应于一个支撑轮并位于该支撑轮的上方，该每一压紧轮与对应支撑轮之间形成有供半导体芯片输送通过的间隙；该每一支撑轮端部均连接有支撑轴，并通过该支撑轴而可转动设置在机架上；该每一压紧轮端部均连接有压紧轴，并通过压紧轴而可转动设置在机架上；该多个支撑轮和多个压紧轮还均与驱动电机传动相连。

进一步，该每一支撑轴上均固定设置有第一传动齿轮，该每一压紧轴上均固定设置有第二传动齿轮，该驱动电机通过皮带而传动于该第一传动齿轮，该第一传动齿轮则与相应的第二传动齿轮传动相连。

进一步，该机架上还形成有滑动体，该滑动体底部形成有凹槽，侧壁上则开设有与凹槽相连通的开孔，该压紧轴穿过该开孔并使得压紧轮可相对滑动体自由转动，该压紧轴上的第二传动齿轮容置在凹槽中而供与第一传动齿轮啮合；该机架顶部还向下引出有导柱，该滑动体上部则形成有供与导柱配合并使得整个滑动体可沿导柱上下滑动的导向孔，该导柱上套设有弹簧，该弹簧两端分别抵靠在机架以及滑动体上。

进一步，该滑动体上锁固有盖板，该滑动体上形成有沉孔，而该导向孔则形成在盖板上并与沉孔相连通，该弹簧一端抵靠在机架上，另一端则抵靠在盖板上。

进一步，该滑动体端部还设置有挡片，而该机架顶部还设置有可感应挡片向上运动并生产感应信号的传感器。

进一步，该半导体芯片输送装置还包括分别设置在两侧的第一输送单元和第二输送单元，该第一输送单元和第二输送单元均包括两个转轮和绕设在转轮上的输送带。

进一步，该每一压紧轮和每一支撑轮都通过螺栓分别锁设在压紧轴和支撑轴的端部。

采用上述结构后，本实用新型涉及的一种半导体芯片输送装置，其通过设置有多个支撑轮和多个压紧轮，并经由驱动电机带动而使得支撑轮和压紧轮呈转动状态，故使得半导体芯片能在支撑轮和压紧轮之间间隙进行输送，并被支撑轮和压紧轮夹制而具有防止半导体芯片掉落的功效；同时由于半导体芯片在运输过程中时由支撑轮支撑，故本实用新型亦能确保整个输送装置的输送效率。本实用新型还进一步通过设置有滑动体，从而能适用于不同高度的半导体芯片，而具有普遍适用性强的功效。

附图说明

图1为本实用新型涉及一种半导体芯片输送装置的立体组合示意图；

图2为本实用新型涉及一种半导体芯片输送装置的立体分解示意图；

图3为本实用新型涉及一种半导体芯片输送装置的背面示意图；

图3A为图3中A-A线的剖视图；

图4为本实用新型涉及一种半导体芯片输送装置中滑动体与压紧轮部分的立体分解图。

图中：

输送装置       100       机架            1