[实用新型]手动式晶圆拾放器

权利要求书

1.一种手动式晶圆拾放器，其特征在于，包括吸附膜、固定机构和操作机构，所述吸附膜是圆形的且具有弹性，所述固定机构架设于所述吸附膜背面的上方，所述操作机构设于所述吸附膜和所述固定机构之间，所述操作机构包括圆形板、拉杆和伸缩件，所述圆形板设于所述吸附膜的中部，所述拉杆的一端连接于所述圆形板的中部，另一端与所述伸缩件的一端连接，所述伸缩件的另一端连接于所述固定机构。

2.根据权利要求1所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述固定机构包括环形板和手柄，所述环形板设置于所述吸附膜的背面，所述环形板和所述吸附膜同心设置，所述手柄的两端架设于所述环形板的两端。

3.根据权利要求2所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述吸附膜的正面为圆形平面，所述吸附膜的背面设有若干环形腔体，所述若干环形腔体围绕所述吸附膜的圆心由小到大同心设置。

4.根据权利要求3所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述圆形板设于所述若干环形腔体中的最小的环形腔体内，且所述圆形板的大小与所述最小的环形腔体的大小匹配。

5.根据权利要求4所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述环形板设于所述若干环形腔体中的较大的一个环形腔体中，且所述环形板的大小和该对应的环形腔体的大小相匹配。

6.根据权利要求4所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述环形板设于所述若干环形腔体中的最大的环形腔体中，且所述环形板的大小和该最大的环形腔体的大小相匹配。

7.根据权利要求3所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述环形腔体的数量有3-8个。

8.根据权利要求2所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述手柄的两端架设于所述环形板的两端是指所述手柄的两端分别通过连接杆固定连接于所述环形板的两端。

9.根据权利要求1所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述拉杆是由竖直杆和水平杆连接组成，所述水平杆的一端与所述竖直杆的上端固定连接，所述竖直杆的下端和所述圆形板固定连接，所述水平杆和所述伸缩件固定连接。

10.根据权利要求1所述手动式晶圆拾放器，其特征在于：所述伸缩件是弹簧。