[实用新型]一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置

权利要求书

1.一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，其特征在于，包括拼接机构及配套的吸拿工具，所述拼接机构包括：

一圆柱形的承载对中桶(3)，其桶体的外表面十字对称的设有四列纵向定位线，所述纵向定位线由若干从上至下等间隔排列的定位螺丝(4)组成，

相邻的两个纵向定位线之间的桶体上设有同心度测试开口(5)，

承载对中桶(3)开口朝上，桶底(6)底面居中设有一个转轴(7)，

转轴(7)穿装在盒式方台(14)正中的通孔内，且转轴(7)与盒式方台(14)保持绝对垂直，

盒式方台(14)上表面设有固定转轴(7)的轴承上密封盖(9)，

转轴(7)位于盒式方台(14)内腔中的轴身上从上至下依次套装有7008C/P4a轴承(10)、7008C/P4b轴承(11)、轴承护套(12)，

轴承护套(12)的下表面与台下压紧轴承盖(13)的上表面抵接，

台下压紧轴承盖(13)和轴承上密封盖(9)的四角各通过一个锁紧螺丝(8)固定连接，

承载对中桶(3)通过转轴(7)与7008C/P4a轴承(10)、7008C/P4b轴承(11)的配合沿转轴(7)纵轴线360°自由转动，

盒式方台(14)上表面的一角设有一同心度确定装置。

2.如权利要求1所述的等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，其特征在于，所述同心度确定装置包括：

一检验棒(1)，与盒式方台(14)保持绝对垂直，

检验棒(1)上设有一能沿检验棒(1)上下任意滑动的固定套(15)，所述固定套(15)上设有固定旋钮，所述固定套(15)上还设有一数显游标卡尺(2)。

3.如权利要求2所述的等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，其特征在于：检验棒(1)长度为300mm，直径为20mm，检验棒(1)的纵向轴线与承载对中桶(3)的纵向轴线的平行距为155mm，承载对中桶(3)直径为210mm，高度为280mm。

4.如权利要求1所述的等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，其特征在于，所述吸拿工具包括：

由侧壁和顶壁构成的吸盘座(23)，其下端开口，顶壁上居中设有一方孔，

顶壁上表面居中设有一小方压力支片(20)，小方压力支片(20)上亦居中设有一方孔，

直提把手(16)通过螺丝(28)固定在吸盘座(23)的顶壁上表面，

吸盘座(23)下端开口处设有聚乙烯吸盘(25)，

聚乙烯吸盘(25)内居中埋设有带埋头螺钉(27)的气垫下夹片(26)，

气垫上夹片(24)穿装在埋头螺钉(27)上，其下表面与聚乙烯吸盘(25)的上表面触接，

埋头螺钉(27)的头部旋装在升降杆(21)的下端，升降杆(21)的下端端面与气垫上夹片(24)的上表面触接，

升降杆(21)为矩形柱体，升降杆(21)位于吸盘座(23)内的杆体上设有反馈梯形弹簧(22)，

升降杆(21)的上端穿出顶壁上居中设置的方孔后，与一连接轴(19)垂直连接，

所述连接轴(19)设置在压气柄(17)的下端，且连接轴(19)的两端由轴销(18)锁住。

5.如权利要求4所述的等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，其特征在于：压气柄(17)压点的R1-1支拱为90mm，R2-1支拱为135mm。