[实用新型]一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接设备及工艺，具体说是一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置。所述拼接装置用于：将太阳能用硅单晶等径超短圆棒拼接成等长晶圆棒，或将太阳能用正方矩形多晶硅超短铸锭拼接成等长方晶锭。所述硅单晶等径超短圆棒可以是太阳能用直径6寸或8寸的硅单晶等径超短圆棒，所述正方矩形多晶硅超短铸锭可以是经过切割整理出的125*125或156*156正方矩形多晶硅超短铸锭。拼接后的等长晶圆棒或等长方晶锭的长度为320mm或410mm。

背景技术

本实用新型中，太阳能用硅单晶等径超短圆棒亦称为等径短圆棒，太阳能用正方矩形多晶硅超短铸锭亦称为等边方锭。其中，等径短圆棒只能和等径短圆棒拼接，等边方锭只能和等边方锭拼接，前者拼接后成为等长晶圆棒，后者拼接后成为等长方晶锭。

通常对等径短圆棒(或等边方锭)拼接，是人工自然对接的，步骤如下：

1、在第一个等径短圆棒(或等边方锭)的上端抹上粘接剂，将第二个等径短圆棒(或等边方锭)放在已经抹上粘接剂的端面上，将第一、第二两个等径短圆棒外表面的四个结晶对称棱线对齐(拼接等边方锭时，将第一、第二等边方锭四角对齐)，固化8小时；

2、在第二个等径短圆棒(或等边方锭)的上端抹上粘接剂，将第三个等径短圆棒(或等边方锭)放在已经抹上粘接剂的端面上，将第二、第三两个等径短圆棒外表面的四个结晶对称棱线对齐(拼接等边方锭时，将第二、第三等边方锭四角对齐)，固化8小时；

3、在第三个等径短圆棒(或等边方锭)的上端抹上粘接剂，将第四个等径短圆棒(或等边方锭)放在已经抹上粘接剂的端面上，将第三、第四两个等径短圆棒外表面的四个结晶对称棱线对齐(拼接等边方锭时，将第三、第四等边方锭四角对齐)，固化8小时。

经过步骤1～3才算完成多达四个等径短圆棒(或等边方锭)的粘结，耗时24小时以上。

由上述可知，现有技术方案的缺点很明显：

首先就是耗时多，工作效率低，操作失误率高；

第二就是拼接成的等长晶圆棒或等长方晶锭的同心度差，从而引起晶向偏离度大于3～4度，

第三是多达四个等径短圆棒(或等边方锭)拼接，四个结晶对称棱线(方锭四角)不容易都对得很齐；不易标准化和规模化生产。

实用新型内容

针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，拼接时间短，拼接好的等长晶圆棒或等长方晶锭的同心度好，四个结晶对称棱线或方锭四角容易对齐，易于标准化和规模化生产。

为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是：

一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，其特征在于，包括拼接机构及配套的吸拿工具，所述拼接机构包括：

一圆柱形的承载对中桶3，其桶体的外表面十字对称的设有四列纵向定位线，所述纵向定位线由若干从上至下等间隔排列的定位螺丝4组成，

相邻的两个纵向定位线之间的桶体上设有同心度测试开口5，

承载对中桶3开口朝上，桶底6底面居中设有一个转轴7，

转轴7穿装在盒式方台14正中的通孔内，且转轴7与盒式方台14保持绝对垂直，

盒式方台14上表面设有固定转轴7的轴承上密封盖9，

转轴7位于盒式方台14内腔中的轴身上从上至下依次套装有7008C/P4a轴承10、7008C/P4b轴承11、轴承护套12，

轴承护套12的下表面与台下压紧轴承盖13的上表面抵接，

台下压紧轴承盖13和轴承上密封盖9的四角各通过一个锁紧螺丝8固定连接，

承载对中桶3通过转轴7与7008C/P4a轴承10、7008C/P4b轴承11的配合沿转轴7纵轴线360°自由转动，

盒式方台14上表面的一角设有一同心度确定装置。

在上述技术方案的基础上，所述同心度确定装置包括：

一检验棒1，与盒式方台14保持绝对垂直，

检验棒1上设有一能沿检验棒1上下任意滑动的固定套15，所述固定套15上设有固定旋钮，所述固定套15上还设有一数显游标卡尺2。

在上述技术方案的基础上，检验棒1长度为300mm，直径为20mm，检验棒1的纵向轴线与承载对中桶3的纵向轴线的平行距为155mm，承载对中桶3直径为210mm，高度为280mm。

在上述技术方案的基础上，所述吸拿工具包括：

由侧壁和顶壁构成的吸盘座23，其下端开口，顶壁上居中设有一方孔，

顶壁上表面居中设有一小方压力支片20，小方压力支片20上亦居中设有一方孔，