[实用新型]晶圆夹持装置

权利要求书

1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括凸轮、启动元件、多个连接杆以及多个夹头，所述凸轮与启动元件连接，所述连接杆的一端与所述凸轮连接，所述连接杆的另一端与夹头连接，多个夹头共同夹持住晶圆边缘。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述连接杆的一端通过伸缩元件与所述凸轮连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述凸轮包括齿轮、叶片轮、中心轴以及外壳，所述齿轮、叶片轮、中心轴设置在所述外壳内，所述齿轮和所述叶片轮通过所述中心轴叠置，所述连接杆的一端伸入所述外壳与外壳内的所述叶片轮紧靠，所述连接杆的一端通过伸缩元件与所述中心轴连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述启动元件包括第一螺杆、第二螺杆以及弹片，所述第一螺杆的一端与所述弹片连接，所述第一螺杆的另一端与第二螺杆的一端啮合，所述第二螺杆的另一端与齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述第一螺杆与所述第二螺杆相互垂直放置。

6.根据权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述启动元件包括螺杆以及马达，所述螺杆的一端与马达连接，所述螺杆的另一端与齿轮啮合。

7.根据权利要求1至6中任一项中的晶圆夹持装置，其特征在于，所述伸缩元件是弹簧。

8.根据权利要求1至6中任一项中的晶圆夹持装置，其特征在于，所述晶圆夹持装置还包括能够伸缩的伸缩杆，所述伸缩杆与所述连接杆连接。

9.根据权利要求1至6中任一项中的晶圆夹持装置，其特征在于，所述连接杆的数量为3～5个。

10.根据权利要求1至6中任一项中的晶圆夹持装置，其特征在于，所述夹头的形状为三角勾形。