[实用新型]高负载对位校正驱动平台装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及高负载对位校正驱动平台装置，尤指一种可提供工作物进行X轴、Y轴或旋转校正，且在校正时还能达到高负载支撑的平台装置。

背景技术

目前现有的对位校正平台装置，多如图8及图9所示，其包含：多组第一平移旋转单元70，分别包括有一安装于固定平台50上的驱动单元71、一可受该驱动单元71往X轴方向驱动位移的第一平移元件72、一可随该第一平移元件72位移或产生相对位移的第二平移元件73，以及一可随该第二平移元件73位移及提供旋转作用的旋转单元80；多组第二平移旋转单元700，分别包括有一安装于固定平台50上的驱动单元71、一可受该驱动单元71往Y轴方向驱动位移的第一平移元件72、一可随该第一平移元件72位移或产生相对位移的第二平移元件73，以及一可随该第二平移元件73位移及提供旋转作用的旋转单元80；一量测平台60，以预定方式固定于该等第一平移旋转单元70与第二平移旋转单元700的旋转单元80上，当预定的驱动单元71作动时，便可透过该等第一平移旋转单元70、第二平移旋转单元700或第一平移旋转单元70与第二平移旋转单元700个别或共同驱动该量测平台60往X轴或Y轴位移或往预定方向旋转。

然，如上所述的现有结构于实际应用中仍存在有下述的问题点：

一、其量测平台60下方中央完全悬空，而不被支撑，让该处的承压力会略显不足，而容易在重物放下时，从该处发生形变，进而将影响其精度；

二、其仅利用滑轨或线性导轨来将第一平移元件72、第二平移元件73与旋转单元80做相互的连结，将让该第一、二平移旋转单元70、700不耐承压，当重物要放上时，可能需要多加思索，该在使用将处处受限，若要勉强放上，恐怕会有第一、二平移旋转单元70、700从滑轨或线性导轨处发生损坏的现象。

是以，如何针对上述现有对位校正平台装置所存在的缺点进行研发改良，实为相关业界所需努力研发的目标，本实用新型发明人有鉴于此，乃思及创作的意念，遂以多年的经验加以设计，经多方探讨并试作样品试验，及多次修正改良，乃推出本实用新型。

实用新型内容

欲解决的技术问题点：

现有量测平台下方中央完全悬空，而不被支撑，而仅利用滑轨或线性导轨来将第一平移元件、第二平移元件与旋转单元做相互的连结，将让该第一、二平移旋转单元不耐承压，此乃欲解决的技术问题点。

解决问题的技术特点：

本实用新型一种高负载对位校正驱动平台装置，其包含有一保持平行相隔的固定平台与校正平台，固定平台与校正平台间并以预定方式结合有被动单元及主动单元，其中，主动单元由一承座、一第一滑块与一第二滑块交错相叠构成；第二滑块顶面枢组有一旋转座，以该承座、旋转座分别与固定平台、校正平台相结合，将令多组主动单元能分别设立于固定平台与校正平台相对内侧的周边处，且该承座、第一滑块与第二滑块二侧的交界均利用滑动装置来做连结，第一滑块一旁并设有一驱动装置，其中：

被动单元设立在固定平台与校正平台的相对内侧中央，主动单元的承座、第一滑块与第二滑块间均夹设有一荷重盘，荷重盘上并枢组有多个滚动件。

所述的高负载对位校正驱动平台装置，其中，该荷重盘的滚动件为滚柱。

所述的高负载对位校正驱动平台装置，其中，该主动单元设立于固定平台与校正平台相对内侧的四周边处。

所述的高负载对位校正驱动平台装置，其中，该被动单元亦由一承座、一第一滑块与一第二滑块交错相叠构成，第二滑块顶面枢组有一旋转座，承座、第一滑块与第二滑块二侧的交界则均利用滑动装置来做连结。

所述的高负载对位校正驱动平台装置，其中，该被动单元的承座、第一滑块与第二滑块间均夹设有一荷重盘，荷重盘上并枢组有多个滚动件。

对照先前技术的功效：

一、本实用新型提供高负载对位校正驱动平台装置，其校正平台中央设有被动单元，以该被动单元提供支撑，将能防止校正平台在重物下压后，即从该中央部位发生形变，避免加工精度被影响、破坏。

二、本实用新型提供高负载对位校正驱动平台装置，其利用荷重盘与滚动件提供大面积接触并分散受力，将能避免承载均集中在脆弱的滑动装置上，让该滑动装置较不因受重而损坏。

附图说明

图1：为本实用新型的立体组合图；

图2：为本实用新型的立体分解图；

图3：为本实用新型被动单元的立体分解放大图；

图4：为本实用新型主动单元的立体分解放大图；

图5：为本实用新型的组合剖面图；