[实用新型]一种整体结构磁控装置无效
| 申请号： | 201120092594.5 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN202054889U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘辛 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 整体 结构 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种整体结构磁控装置，其特征在于它包含整体背板(1)、夹紧螺钉(2)、凸台(3)、夹片(4)、沟槽(5)、隔磁板(6)、紧固螺钉(7)、磁块(8)；整体背板(1)上设置有凸台(3)和沟槽(5)，夹片(4)通过夹紧螺钉(2)安装在整体背板(1)的两侧，隔磁板(6)的下端通过紧固螺钉(7)固定安装在沟槽(5)内，磁块(8)设置在凸台(3)上，并通过夹片(4)和隔磁板(6)定位。
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