[实用新型]一种整体结构磁控装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种磁控装置，具体是一种整体结构磁控装置。

背景技术：

真空溅镀是目前一项新技术，在真空溅镀自动连续生产线中，腔内的物理气相、电和磁力参数等都直接影响到工件的镀膜质量和溅镀效率，而磁控装置又是其中的一项重要部件。

通常的磁控装置由背板、磁块、夹片、隔磁板、磁块定位条和螺钉等组成，磁块以多排形式排列并在背板上，以形成均匀分布的闭合磁场。用夹片将磁块定位条和隔板夹紧后，用螺钉安装固定在背板上，在磁块定位条、夹片和隔磁板所形成的U形槽内放入磁块，最后形成磁控装置。由于背板和磁块定位条采用螺钉固定，刚性差，使用过程中容易产生变形，使磁块与磁块定位条、磁块与磁块间的接触面出现间隙，影响磁场的分布，降低了磁控装置的使用性能，甚至不能引发辉光放电。此外，在磁控装置的零件较多，全长范围内的螺钉非常繁多，定位困难，安装繁琐。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种整体结构磁控装置，它简化了结构，使得磁控装置的零件品种和数量大为减少，磁块定位也更为方便准确，安装简便，制造成本低。

为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案：它包含整体背板1、夹紧螺钉2、凸台3、夹片4、沟槽5、隔磁板6、紧固螺钉7、磁块8；整体背板1上设置有凸台3和沟槽5，夹片4通过夹紧螺钉2安装在整体背板1的两侧，隔磁板6的下端通过紧固螺钉7固定安装在沟槽5内，磁块8设置在凸台3上，并通过夹片4和隔磁板6定位。

本实用新型具有以下有益效果：简化了结构，使得磁控装置的零件品种和数量大为减少，磁块定位也更为方便准确，安装简便，制造成本低。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

参看图1，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含整体背板1、夹紧螺钉2、凸台3、夹片4、沟槽5、隔磁板6、紧固螺钉7、磁块8；整体背板1上设置有凸台3和沟槽5，夹片4通过夹紧螺钉2安装在整体背板1的两侧，隔磁板6的下端通过紧固螺钉7固定安装在沟槽5内，磁块8设置在凸台3上，并通过夹片4和隔磁板6定位。

本具体实施方式通过在较厚板上加工出沟槽5和凸台3形成整体背板，取代原背板、磁块定位条和组合件，隔磁板6两端通过紧固螺钉7固定在整体背板的沟槽5内，在整体背板1的凸台面(即磁块安装面)、夹片4与隔磁板6所形成的U形槽内放入磁块，隔磁板6的空位正好用作整体背板1加工时的空刀槽，便于背板上的凸台面的磨削加工，整体背板1上的凸起部分起到了加强筋的作用，因而提高了磁控装置的整体刚性，不易发生变形。

本具体实施方式简化了结构，使得磁控装置的零件品种和数量大为减少，磁块定位也更为方便准确，安装简便，制造成本低。