[实用新型]一种薄片及其固定装置有效

专利信息
申请号: 201120100527.3 申请日: 2011-04-08
公开(公告)号: CN202008537U 公开(公告)日: 2011-10-12
发明(设计)人: 湛宾洲 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G02B5/00 分类号: G02B5/00;G02B7/00;G03F7/20;H01F7/06
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 薄片 及其 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种薄片,其特征在于,包含一片以上的磁性L形薄片或磁性平直薄片。

2.如权利要求1所述的薄片,其特征在于,所述薄片的材料为含有铁、钴或者镍的合金材料。

3.一种应用如权利要求1所述薄片的固定装置,其特征在于,包括:安装基体和磁性机构,所述薄片通过磁性机构吸附于安装基体上。

4.如权利要求3所述的固定装置,其特征在于,所述安装基体中设有垂直于所述薄片安装方向的开孔,所述磁性机构体安装于所述开孔中。

5.如权利要求4所述的固定装置,其特征在于,所述薄片为磁性L形薄片,通过螺钉或弹性压持结构固定安装在所述安装基体上。

6.如权利要求5所述的固定装置,其特征在于,所述弹性压持结构为弹片或带有平面的弹性柱塞。

7.如权利要求4所述的固定装置,其特征在于,所述薄片为磁性平直薄片,所述薄片通过耐热胶固定安装在所述安装基体上。

8.如权利要求4所述的固定装置,其特征在于,所述磁性机构为一个柱状或马蹄状的永磁体或电磁铁。

9.如权利要求4所述的固定装置,其特征在于,所述磁性机构包含多个柱状或马蹄状的,磁极交错排列的永磁体或电磁铁。

10.如权利要求8或9所述的固定装置,其特征在于,所述电磁铁配有电磁铁线圈电流调节装置。

11.如权利要求4所述的固定装置,其特征在于,所述开孔靠近所述薄片的一端的孔径比磁性机构的外径小,所述开孔远离所述薄片的一端内装有磁体限位螺钉。

12.如权利要求3所述的固定装置,其特征在于,所述安装基体的内部或外部设有散热结构。

13.如权利要求12所述的固定装置,其特征在于,所述散热结构为冷却孔,跨度覆盖所述薄片,设置于所述安装基体中。

14.如权利要求13所述的固定装置,其特征在于,所述冷却孔由若干通孔和盲孔组成,并配有密封螺钉。

15.如权利要求13所述的固定装置,其特征在于,所述冷却孔的两端设有内螺纹,装有管接头,连接通入气体或者液体的管道。

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