[实用新型]一种薄片及其固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻机设备领域，且特别涉及一种薄片及其固定装置。

背景技术

如图1所示，在光刻机曝光系统中，为了校正照明均匀性或者产生特定形状、能量分布的照明场，需要添加光阑，而在有些位置上学或者机械部件之间允许的间隙很小，一般小于0.4mm，这时就需要插入挡光薄片做光阑。挡光薄片受到空间约束，可用空间有限，安装比较困难。现有技术中对于挡光薄片固定的方法有：压持法、胶结法和电化学附着法。

压持法通常对薄片的安装采用双面压持或者单面点胶。例如将薄片附着于细棒末端的网状结构上，细棒插入两个压持面之间，通过压持面的压持固定薄片，此结构通过推拉棒状物可以调节薄片的位置，此结构的缺点一方面是薄片附着在网状物上的工艺难度比较大，而且此结构缺少校正薄片翘曲和细棒弯曲的机制。

或者使用一种U形薄片保持型架，U形架中有夹持部位，通过夹持部位对薄片的压紧来固定薄片，此结构比较简练，对于固定整块的薄片比较有利，能够有效的抑制薄片变形，但是如果用于固定光学中的多个伸出的薄片，则薄片伸出端很容易摇摆，固定非常困难。

在空间要求非常狭小的情况下，挡光薄片厚度很小(0.2mm以下)，而且还要收到辐射热，容易翘曲变形。挡光薄片的安装难度和防翘曲难度比较大。双面压持几乎是不可能的，而单面点胶在光线光能相对集聚的部位又存在很大风险。

电化学附着法是一种用电化学原理将金属薄片固定在基体上的方法，这种方法最终成型出的结构比较简单，但是加工需要专用设备，而且薄片拆卸也不大方便。

现有技术中对于挡光薄片固定不管使用哪一种方法，都难以抑制薄片伸出端的翘曲。而对于挡光薄片来说，弹性翘曲以及受热翘曲是比较难解决的问题。

因此，急需一种应用于光刻机系统小间隙下挡光薄片的固定装置，能抑制薄片伸出端的弹性翘曲以及受热翘曲，使得薄片容易固定，方便拆卸。

实用新型内容

本实用新型提出一种薄片及其固定装置，能在小间隙情况下安装薄片，抑制薄片伸出端的弹性翘曲以及受热翘曲，使得薄片容易固定，方便拆卸。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种薄片，所述薄片包含一片以上的磁性L形薄片或磁性平直薄片。

进一步的，所述薄片的材料为含有铁、钴或者镍的合金材料。

本实用新型还提供一种薄片固定装置，包括：安装基体和磁性机构，所述薄片通过磁性机构吸附于安装基体上。

进一步的，所述安装基体中设有垂直于所述薄片安装方向的开孔，所述磁性机构安装于所述开孔中。

进一步的，所述薄片为磁性L形薄片，通过螺钉或弹性压持结构固定安装在所述安装基体上。

进一步的，所述弹性压持结构为弹片或带有平面的弹性柱塞。

进一步的，所述薄片为磁性平直薄片，通过耐热胶固定安装在所述安装基体上。

进一步的，所述磁性机构为一个柱状或马蹄状的永磁体或电磁铁。

进一步的，所述磁性机构包含多个柱状或马蹄状的，磁极交错排列的永磁体或电磁铁。

进一步的，所述电磁铁配有电磁铁线圈电流调节装置。

进一步的，所述开孔靠近所述薄片的一端的孔径比磁性机构的外径小，所述开孔远离所述薄片的一端内装有磁体限位螺钉。

进一步的，所述安装基体的内部或外部设有散热结构。

进一步的，所述散热结构为冷却孔，跨度覆盖所述薄片，设置于所述安装基体中。

进一步的，所述冷却孔由若干通孔和盲孔组成，并配有密封螺钉。

进一步的，所述冷却孔的两端设有内螺纹，装有管接头，连接通入气体或者液体的管道。

与现有技术相比，本实用新型的薄片是有磁性的，通过配套的磁性机构吸附紧贴到带有冷却孔的安装基体上，实现了在小间隙情况下安装薄片，抑制薄片伸出端的弹性翘曲以及受热翘曲的目标，使得薄片容易固定，方便拆卸。

附图说明

图1所示为现有技术的挡光薄片安装于光刻机系统示意图；

图2所示为本实用新型较佳实施例的薄片固定装置结构示意图；

图3所示为本实用新型较佳实施例的薄片固定装置的断面结构示意图；

图4所示为本实用新型较佳实施例的磁性结构剖面示意图；

图5所示为本实用新型较佳实施例的安装基体剖面示意图。

具体实施方式

为了更了解本实用新型的技术内容，特举具体实施例并配合所附图示说明如下。

本实用新型提出一种薄片，所述薄片包含一片以上的磁性L形薄片(如图2中1所示)或磁性平直薄片，所述薄片采用含有铁、钴或者镍的合金材料制成。