[实用新型]TFT基板、显示装置无效

专利信息
申请号: 201120114454.3 申请日: 2011-04-18
公开(公告)号: CN202084546U 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 毛剑宏;唐德明 申请(专利权)人: 上海丽恒光微电子科技有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L29/786
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 201203 上海市浦东新区张江*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: tft 基板 显示装置
【权利要求书】:

1.一种TFT基板,包括基底,位于基底上的TFT开关;所述TFT开关包括:

栅极,源区、漏区,用于电导通源区和漏区的导电沟道,位于所述栅极和导电沟道之间的栅介质层,与所述源区电连接的源电极,与所述漏区电连接的漏电极,电容,所述电容包括第一极板、第二极板以及位于第一极板和第二极板之间的电容介质层;其特征在于,

所述第一极板与所述栅极位于同一层;

所述第二极板与所述源电极和漏电极位于同一层,所述第二极板与源电极或漏电极电连接。

2.如权利要求1所述的TFT基板,其特征在于,所述TFT开关还包括钝化层,所述钝化层覆盖所述TFT开关的表面。

3.如权利要求1~2任一项所述的TFT基板,其特征在于,所述导电沟道为低掺杂硅层,所述低掺杂硅层和栅介质层之间为高掺杂硅层,所述高掺杂硅层具有开口,开口两侧分别为源区和漏区,所述开口暴露出所述低掺杂硅层。

4.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1~3任一项所述的TFT基板。

5.如权利要求4所述的显示装置,还包括固定光栅和MEMS光阀;所述固定光栅位于所述基底与所述TFT开关之间;所述MEMS光阀位于所述TFT开关之上。 

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