[实用新型]晶圆切割中切割工作台的防水结构

权利要求书

1.一种晶圆切割中切割工作台的防水结构，包括切割工作台（4）；其特征是：所述切割工作台（4）内底板（3）的一端端部设有隔水挡板（1）。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述切割工作台（4）内的底板（3）上对应于摄像机镜头照射部设有防水密封条（2）。

3.根据权利要求1所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述底板（3）上对应于设置防水密封条（2）的部位设有干燥压缩空气输出管。

4.根据权利要求1所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述切割工作台（4）包括底板（3），所述底板（3）上设有端板（6）及对称分布的侧板（8），所述端板（6）位于底板（3）对应于设置隔水挡板（1）的另一端，所述侧板（8）的两端分别与端板（6）及隔水挡板（1）相连。

5.根据权利要求4所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述侧板（8）对应于邻近端板（6）的一端设有台阶（5）；侧板（8）与端板（6）结合部一端的高度大于侧板（8）与隔水挡板（1）一端的高度。

6.根据权利要求4所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述侧板（8）对应于与隔水挡板（1）相连的一端设有定位槽（9），所述定位槽（9）位于隔水挡板（1）的上方。

7.根据权利要求4所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述侧板（8）上设有若干安装孔（7）。

8.根据权利要求6所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述定位槽（9）从侧板（8）对应于与隔水挡板（1）结合部的一端向侧板（8）与端板（6）的一端延伸。

9.根据权利要求2所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述防水密封条（2）呈圆形。

10.根据权利要求1所述的晶圆切割中切割工作台的防水结构，其特征是：所述隔水挡板（1）呈矩形。