[实用新型]晶圆切割中切割工作台的防水结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种防水结构，尤其是一种晶圆切割中切割工作台的防水结构，属于半导体加工的技术领域。

背景技术

晶圆切割工序主要进行晶圆切割工程，在晶圆切割之前和切割过程中需要使用摄像机对晶圆切割进行定位，从而能够对晶圆切割的切口进行检查。由于切割过程中会使用离子水进行冷却和清洁，会有部分水进入摄像机内，造成摄像机的输出图像模糊，经常出现设备图像识别产生误报警，或者由于长期积水造成摄像机损坏等情况，从而降低了摄像机及切割设备的利用率，增加人工劳动成本，提高设备采购费用，对晶圆切割的质量难以保证。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种晶圆切割中切割工作台的防水结构，其结构简单紧凑，安装使用方便，利用率高，减少人工操作量，降低了误报警率，自动化程度高，提高了切割质量，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述晶圆切割中切割工作台的防水结构，包括切割工作台；所述切割工作台内底板的一端端部设有隔水挡板。

所述切割工作台内的底板上对应于摄像机镜头照射部设有防水密封条。所述底板上对应于设置防水密封条的部位设有干燥压缩空气输出管。

所述切割工作台包括底板，所述底板上设有端板及对称分布的侧板，所述端板位于底板对应于设置隔水挡板的另一端，所述侧板的两端分别与端板及隔水挡板相连。

所述侧板对应于邻近端板的一端设有台阶；侧板与端板结合部一端的高度大于侧板与隔水挡板一端的高度。

所述侧板对应于与隔水挡板相连的一端设有定位槽，所述定位槽位于隔水挡板的上方。

所述侧板上设有若干安装孔。所述定位槽从侧板对应于与隔水挡板结合部的一端向侧板与端板的一端延伸。

所述防水密封条呈圆形。所述隔水挡板呈矩形。

本实用新型的优点：切割工作台的底板上设有隔水挡板，隔水挡板与LED摄像机内的除水结构相对应，能够避免水气进入LED摄像机的镜头部；同时在底板上对应于LED摄像机的镜头照射部通过设置防水密封条来提高密封性能，进一步避免冷却水进入LED摄像机内；由于LED摄像机在晶圆切割中最大程度的减少了冷却水的干扰，能够延长LED摄像机的使用寿命，减少晶圆切割过程中的对准误报警，提高了设备的利用率，结构简单紧凑，安装使用方便，减少人工操作量，降低了误报警率，自动化程度高，提高了切割质量，安全可靠。

附图说明

    图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示：本实用新型包括隔水挡板1、防水密封条2、底板3、切割工作台4、台阶5、端板6、安装孔7、侧板8及定位槽9。

如图1所示：所述切割工作台4包括底板3，所述底板3呈矩形状。所述底板3的一端设有端板6，底板3的两侧分别设有侧板8，所述侧板8与端板6对应相连；从而侧板8与端板6及底板3围合成现有的切割工作台4结构。切割工作台4对应于设置端板6的另一端设置开口端，用于将LED摄像机放置照射定位。侧板8对应于与端板6相连的另一端端部设有定位槽9，所述定位槽9位于侧板8的下部；且定位槽9的槽口位于侧板8的端部，定位槽9的槽底邻近端板6；定位槽9呈矩形；通过固定螺钉能够将LED摄像机安装在侧板8上。

为了避免在晶圆切割中，冷却水的飞溅影响LED摄像机的摄像定位效果；在底板3上设有隔水挡板1，所述隔水挡板1位于底板3对应于设置端板6的另一端端部。隔水挡板1位于定位槽9的下方，即隔水挡板1的高度低于定位槽9，使安装隔水挡板1后不影响LED摄像机的安装。隔水挡板1的两端分别与侧板8相连。隔水挡板1的形状与底板3及侧板8相对应，并呈矩形装。隔水挡板1能够与LED摄像机的端盖除水结构相对应，能够避免冷却水飞溅入LED摄像机内。

同时，底板3上设有LED摄像机的镜头照射处，现有结构中，底板3上LED摄像机镜头照射处的密封性差，水气会进入LED摄像机内。为了避免水气通过底板3上LED摄像机镜头照射部将进入LED摄像机内，底板3上设有防水密封条2，所述防水密封条2能够使底板3上对应LED摄像机镜头照射部具有良好的密封性能。防水密封条2邻近端板6，且防水密封条2呈圆形。切割工作台4内设有干燥压缩空气输出管，所述干燥压缩空气输出管的端口与防水密封条2的位置相对应。