[实用新型]硅单晶炉翻板阀室观察窗无效
申请号: | 201120118937.0 | 申请日: | 2011-04-21 |
公开(公告)号: | CN202054921U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 惠梦君 | 申请(专利权)人: | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 刘宗杰 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠山*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅单晶炉翻板阀室 观察窗 | ||
1.一种硅单晶炉翻板阀室观察窗,其包括安装于翻板阀室之上的观察玻璃,其特征在于:所述观察玻璃位于翻板阀室室内的表面上镀有反光层。
2.根据权利要求1所述的硅单晶炉翻板阀室观察窗;其特征在于:所述反光层设置为环形结构,于观察玻璃的中间位置留有透明的观察小窗。
3.根据权利要求1所述的硅单晶炉翻板阀室观察窗;其特征在于:所述观察玻璃为石英玻璃。
4.根据权利要求1所述的硅单晶炉翻板阀室观察窗;其特征在于:所述反光层为具有反光特性的金属膜。
5.根据权利要求2所述的硅单晶炉翻板阀室观察窗;其特征在于:所述观察小窗为椭圆形或长圆形的任一种结构。
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