[实用新型]硅单晶炉翻板阀室观察窗

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅单晶炉翻板阀室，尤其涉及一种硅单晶炉翻板阀室观察窗。

背景技术

硅单晶炉炉室部分由主室，翻板阀室和副室组成。翻板阀室在主室和副室之间，起联通和隔断作用。在晶体生长和取晶棒时都要经过翻板阀室，所以它有一个观察窗，当炉内高温时，由于热辐射吸收使这个观察窗发热。与之相接触的橡胶密封圈会过热而失去密封作用，通常有两个方案解决这个问题：一是采用双层(石英)玻璃，中间水冷。它的缺点是一旦玻璃碎了，水会涌入高温炉室内，照成安全隐患。此外结构设计安装都比较复杂。二是采用单层石英玻璃。为了减少过热，将窗口尺寸减小很多。优点是结构简单，缺点是视野太小，观察操作不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅单晶炉翻板阀室观察窗，其具有结构简单，安装方便以及安全可靠性高的特点。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：

一种硅单晶炉翻板阀室观察窗，其包括安装于翻板阀室之上的观察玻璃，其中，所述观察玻璃位于翻板阀室室内的表面上镀有反光层。

特别地，所述反光层设置为环形结构，于观察玻璃的中间位置留有透明的观察小窗。

特别地，所述观察玻璃为石英玻璃，所述反光层为具有反光特性的金属膜。

特别地，所述观察小窗为椭圆形或长圆形的任一种结构。

本实用新型的有益效果为，所述硅单晶炉翻板阀室观察窗的观察玻璃位于翻板阀室室内的表面上镀有环形的反光层，且于中间留有透明的观察小窗，在起到观察效果的同时，利用反光层反射掉炉内的辐射热量，避免了与观察玻璃接触的胶密封圈会过热而失去密封作用，不仅结构简单，易于实现，而且安装方便，安全可靠性高。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为本实用新型硅单晶炉翻板阀室观察窗的结构示意图。

图中：

1、观察玻璃；2、反光层；3、观察小窗。

具体实施方式

请参照图1所示，图1为本实用新型硅单晶炉翻板阀室观察窗的结构示意图，于本实施例中，一种硅单晶炉翻板阀室观察窗，其包括安装于翻板阀室之上的观察玻璃1，所述观察玻璃1为石英玻璃，且所述观察玻璃1位于翻板阀室室内的表面上镀有反光层2，所述反光层2为具有反光特性的金膜，设置为环形结构，且于观察玻璃1的中间位置留有透明的椭圆形结构的观察小窗3。所述观察小窗3用于对室内情况进行观察，并利用反光层2反射掉炉内的辐射热量，避免了与观察玻璃接触的胶密封圈会过热而失去密封作用，不仅结构简单，易于实现，而且安装方便，安全可靠性高。

以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，可随着反光层的形状以及观察小窗的形状的改变而改变。本实用新型不受上述事例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。