[实用新型]一种酸翻涌清洗晶片装置有效
| 申请号： | 201120122988.0 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN202039165U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张朝辉;姚志武;毕银山 | 申请（专利权）人： | 唐山晶玉科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B35/00 |
| 代理公司： | 唐山顺诚专利事务所 13106 | 代理人： | 于文顺 |
| 地址： | 064106 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 翻涌 清洗 晶片 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种酸翻涌清洗晶片装置，其特征在于包含腐蚀液桶（3）、循环泵（1）、喷头，在腐蚀液桶的底部设置喷头（5、6、7），喷头与循环泵叶轮连接。
2.根据权利要求1所述之酸翻涌清洗晶片装置，其特征在于所说的循环泵叶轮进液口与腐蚀液桶连通。
3.根据权利要求1或2所述之酸翻涌清洗晶片装置，其特征在于所说的循环泵是耐酸循环泵。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于唐山晶玉科技有限公司，未经唐山晶玉科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120122988.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：缝纫机松线装置
- 下一篇：一种侧喷式铝箔退火炉
