[实用新型]一种酸翻涌清洗晶片装置

说明书

 技术领域

本实用新型涉及一种酸翻涌清洗晶片装置，属于晶片腐蚀设备技术领域。

背景技术

晶片腐蚀机代替人工完成晶片腐蚀工作，背景技术的腐蚀机在腐蚀晶片时，仅靠简易的搅动装置在酸液中旋转搅动，尽管不停的搅动酸液，酸液上下层的温度仍然不一致；并且在晶片腐蚀过程中，晶片一直叠贴在一起，使腐蚀不均匀，频率散差很大；同时，一次腐蚀的数量很少，难以保证工作效率。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种酸翻涌清洗晶片装置，使晶片在翻涌对流状态下全部分散开来，晶片和腐蚀液均匀的接触，保证了晶片腐蚀质量一致、晶片频率一致，大幅度提高一次腐蚀量，提高工作效率，解决背景技术中存在的上述问题。

本实用新型的技术方案是：一种酸翻涌清洗晶片装置，包含腐蚀液桶、循环泵、喷头，在腐蚀液桶的底部设置喷头，喷头与循环泵叶轮连接。

所说的循环泵叶轮进液口与腐蚀液桶连通，腐蚀液通过进液口、叶轮、喷头喷出到腐蚀液桶内，产生腐蚀液翻涌的效果，腐蚀液再补充到进液口，形成循环。

所说的循环泵是耐酸循环泵。

本实用新型的有益效果：由于在腐蚀机酸翻涌搅动的同时，使得清洗槽中的酸不断地上下左右循环起来，使得酸液的温度始终精确控制在±1℃范围，并使晶片在翻涌对流状态下全部分散开来，晶片和腐蚀液均匀的接触，保证了晶片腐蚀质量一致、晶片频率一致；同时保证了一次腐蚀量的大幅度提高，保证了工作效率。

附图说明

附图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图中：循环泵1，循环泵支架2，腐蚀液桶3，喷头螺栓4，喷头5、6、7。

具体实施方式：

以下结合附图，通过实施例对本实用新型作进一步说明。

一种酸翻涌清洗晶片装置，包含腐蚀液桶3、循环泵1、喷头，在腐蚀液桶的底部设置喷头5、6、7，喷头与循环泵叶轮连接。所说的循环泵叶轮进液口与腐蚀液桶连通，腐蚀液通过进液口、叶轮、喷头喷出到腐蚀液桶内，产生腐蚀液翻涌的效果，腐蚀液再补充到进液口，形成循环。喷头上设有喷头螺栓4，所说的循环泵是耐酸循环泵，设置在循环泵支架2上。