[实用新型]真空炉保温系统防氧化处理结构有效
| 申请号： | 201120126400.9 | 申请日： | 2011-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN202094095U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 韩伶俐 | 申请（专利权）人： | 石金精密科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;F27D1/18;F16L59/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空炉 保温 系统 氧化 处理 结构 | ||
1.一种真空炉保温系统防氧化处理结构，包括位于真空炉内的热场箱，所述热场箱包括箱体及箱盖，其特征在于，所述箱体与箱盖均为保温碳毡材料，箱体的一侧开口，用于与箱盖扣合；所述箱体的开口边缘包裹有用于防氧化的碳碳复合材料层。
2.根据权利要求1所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述碳碳复合材料层横截面为U型。
3.根据权利要求2所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述碳碳复合材料层通过钼螺丝与箱体固定连接。
4.根据权利要求1所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述箱体的内表面喷涂有耐高温涂料层。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述箱体的开口边缘喷涂有耐高温涂料层，所述开口边缘的耐高温涂料层包裹于所述碳碳复合材料层内。
6.根据权利要求1所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述箱盖表面喷涂有耐高温涂料层。
7.根据权利要求1所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述箱体的侧壁和/或顶部设有用于观察及通风通气的风窗。
8.根据权利要求7所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述风窗的窗口边缘喷涂有耐高温涂料层。
9.根据权利要求8所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述风窗的窗口边缘的耐高温涂料层外包裹有碳碳复合材料层，该碳碳复合材料层通过钼螺丝与箱体固定连接。
10.根据权利要求1所述的防氧化处理结构，其特征在于，所述真空炉包括炉盖，所述箱盖固定在所述真空炉的炉盖上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
