[实用新型]带有排气处理设备的干膜制造系统

权利要求书

1.一种干膜制造系统，其特征在于，至少具有：涂敷设备，其用于将含有溶剂的溶液涂敷到载体膜上；干燥设备，其用于使溶剂从该涂敷后的溶液中挥发出来；两种以上的排气处理设备，其用于对从上述干燥设备中产生的排气中的溶剂成分进行处理。

2.根据权利要求1所述的干膜制造系统，其特征在于，作为上述两种以上的排气处理设备，至少包括：用于对从上述干燥设备中产生的该排气中的溶剂成分进行回收的溶剂回收设备这一种类、以及用于使该排气中的溶剂成分燃烧的燃烧设备这一种类。

3.根据权利要求2所述的干膜制造系统，其特征在于，上述燃烧设备为通过催化剂使上述排气中的溶剂氧化的燃烧设备。

4.根据权利要求2所述的干膜制造系统，其特征在于，在上述两种以上的排气处理设备中，包括一个以上的上述溶剂回收设备的情况下，其中的至少一个上述溶剂回收设备为用于对上述排气中的溶剂成分进行吸附和释放的吸附释放设备。

5.根据权利要求4所述的干膜制造系统，其特征在于，上述吸附释放设备为采用蒸气或热氮气来释放上述排气中的溶剂的设备。

6.根据权利要求4所述的干膜制造系统，其特征在于，上述吸附释放设备为通过活性炭来吸附上述排气中的溶剂的设备。

7.根据权利要求4所述的干膜制造系统，其特征在于，还具有液体浓缩设备，该液体浓缩设备用于对上述吸附释放设备所生成的含有溶剂的水溶液进行浓缩，该液体浓缩设备与上述吸附释放设备相连接。 

8.根据权利要求7所述的干膜制造系统，其特征在于，还具有排水处理设备，该排水处理设备能够对上述液体浓缩设备所排出的排水的pH值进行调节，该排水处理设备与上述液体浓缩设备相连接。

9.根据权利要求1所述的干膜制造系统，其特征在于，上述两种以上的排气处理设备分别与上述干燥设备相连接。

10.根据权利要求1所述的干膜制造系统，其特征在于，能够对分别经过上述两种以上的排气处理设备的上述排气的量进行控制。