[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201120140116.7 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN202059571U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 宋青林;庞胜利 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括线路板（3）和与所述线路板（3）固定连接的外壳（1），在所述外壳（1）上设置有供声波通过的声孔（5），在所述麦克风内部的线路板（3）表面上安装有MEMS声学芯片（2），其特征在于，
在所述线路板（3）被所述MEMS声学芯片（2）覆盖的区域，设置有贯通所述线路板（3）两侧的一个以上微孔（6），所述微孔（6）的孔径为5～100微米。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：
所述微孔的孔径为10～30微米。
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