[实用新型]一种基板载台有效
| 申请号： | 201120159922.9 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN202103035U | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 熊正平 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/00;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基板载台 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板载台，包括载台表面，所述载台表面上有若干气孔，所述气孔与吹气管连通，其特征在于：还包括与所述吹气管相连的离子风发生器。
2.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于：所述离子风发生器包括离子风口，以及与所述离子风口相连的高压发生器，所述离子风口串连在所述吹气管上。
3.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于：所述离子风发生器包括与所述吹气管相连的离子风管，串连在所述离子风管上的离子风口，以及与所述离子风口相连的高压发生器。
4.根据权利要求2或3所述的基板载台，其特征在于：所述离子风口为锥形，气流从所述锥形的离子风口的底端流入，顶端流出。
5.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于：还包括设置于所述吹气管上的调压阀。
6.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于：还包括连接在所述吹气管上的吹气电磁阀，以及通过导线与所述吹气电磁阀相连的吹气控制电路，所述离子风发生器通过导线连接至所述吹气控制电路。
7.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于：还包括连接在所述吹气管上的吸气电磁阀。
8.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于：还包括连接在所述吹气管上的双向电磁阀。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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