[实用新型]一种基板载台

说明书

技术领域

本实用新型属于基板制造技术领域，具体涉及一种基板载台。

背景技术

在液晶基板的制造过程中，有多个步骤要使用平坦度较高的基板载台，例如曝光机载台。如图1所示，载台表面1用于放置基板2，并且分布有一些气孔11和升降顶针12，其中气孔11同时连接吸气管3和吹气管4，并分别由吸气电磁阀31和吹气电磁阀41控制，实现真空吸附、释放吹气、不吹不吸三种状态，使基板2能够在载台上稳定的工作和自由升降。基板2在载台上加工时，利用吸气管3使气孔处于真空状态，基板2就会紧紧贴附在载台表面1；当基板2加工完毕后，利用吹气管4将洁净空气吹入气孔11，然后升起升降顶针12，将基板2抬起，再由机械手臂取出基板2。当基板载台空闲时，也就是没有基板时，则处于不吹不吸状态。

然而在工艺处理过程中，会在基板2的上、下表面和载台表面1产生静电，而且随着生产的持续进行，静电会越积越多。尤其对于平坦度较高的载台，由于静电吸附作用，载台表面1会对基板2产生很大的吸引力，而升降顶针12升起时，基板2就会承受两个方向相反的力，当静电累积到一定程度时，就会造成基板2碎裂，使基板2受损。除此之外，静电产生的电场还可能烧坏基板内部的线路，使基板的电路损坏。

如图1所示，现有的除静电装置，例如条状的离子发生器5或X射线除静电器，安装在基板2的上方，只能消除基板2上表面的静电，导致无法有效消除基板2下表面与载台表面1之间静电的技术问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种基板载台，能够有效消除基板下表面与载台表面之间的静电。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

该基板载台，包括载台表面，所述载台表面上有若干气孔，所述气孔与吹气管连通，还包括与所述吹气管相连的离子风发生器。

与现有技术相比，本实用新型所提供上述技术方案具有如下优点：基板在基板载台上加工完毕后，由吹气管向气孔中吹气，同时启动离子风发生器，吹气管中的气流就会变成带有正、负离子的离子风。基板下表面与载台表面之间的静电通常情况下，载台表面带负电，基板的下表面带正电，而从吹气管吹入气孔的离子风，能够中和这些电荷，有效消除基板下表面与载台表面之间的静电，故而解决了现有的除静电装置只能消除基板上表面的静电，导致无法有效消除基板下表面与载台表面之间静电的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的基板载台的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例1所提供的基板载台的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例2所提供的基板载台的结构示意图；

图4为本实用新型的实施例3所提供的基板载台的结构示意图；

图5为本实用新型的实施例4所提供的基板载台的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：

如图2所示，本实用新型实施例所提供的基板载台，包括载台表面1，载台表面1上有若干气孔11，气孔11与吹气管4连通，还包括与吹气管4相连的离子风发生器6。

基板2在基板载台上加工完毕后，由吹气管4向气孔11中吹气，同时启动离子风发生器6，吹气管4中的气流就会变成带有正、负离子的离子风。基板2下表面与载台表面1之间的静电在通常情况下，载台表面1带负电，基板2的下表面带正电，而从吹气管4吹入气孔11的离子风，能够中和这些电荷，有效消除基板2下表面与载台表面1之间的静电，故而解决了现有的除静电装置只能消除基板上表面的静电，导致无法有效消除基板下表面与载台表面之间的静电的技术问题。