[实用新型]样品夹持工具有效
| 申请号： | 201120160527.2 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN202057616U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈卉;谢涛;李德勇;胡强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品 夹持 工具 | ||
1.一种样品夹持工具，固定于样品支座上，其特征在于，包括：
第一环状体固定件，固定于所述样品支座上，所述第一环状体固定件的内周面一侧设置有卡持部；
环状体卡持件，通过所述卡持部套设于所述第一环状体固定件中，所述环状体卡持件能够相对所述第一环状体固定件旋转；
第二环状体固定件，套设于所述环状体卡持件中，所述第二环状体固定件的外径与环状体卡持件的内径相适配；
样品放置件，套设于所述环状体卡持件内周面上，所述第二环状体固定件部分压覆于所述样品放置件上。
2.如权利要求1所述的样品夹持工具，其特征在于，所述样品放置件呈半圆形，所述样品放置件与所述环状体卡持件相适配，所述样品放置件上设置有栅格。
3.如权利要求1所述的样品夹持工具，其特征在于，所述环状体卡持件的内周面设置有若干固定卡槽，所述第二环状体固定件的外周面设置有若干凸齿，所述凸齿与所述固定卡槽相匹配。
4.如权利要求1或2或3所述的样品夹持工具，其特征在于，所述第一环状体固定件内周面为圆形，外周面为圆形或多边形。
5.如权利要求1或2或3所述的样品夹持工具，其特征在于，所述环状体卡持件外周面为圆形，内周面为圆形或多边形。
6.如权利要求1或2或3所述的样品夹持工具，其特征在于，所述第二环状体固定件外周面为与所述环状体卡持件内周面相适配的圆形或多边形，内周面为圆形或多边形。
7.如权利要求1或2或3所述的样品夹持工具，其特征在于，所述第二环状体固定件上还设置有螺孔。
8.如权利要求1或2或3所述的样品夹持工具，其特征在于，所述第一环状体固定件、环状体卡持件及第二环状体固定件的材质为不锈钢。
9.如权利要求1或2或3所述的样品夹持工具，其特征在于，所述样品放置件的材质为钼金属。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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