[实用新型]样品夹持工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体测试工具，尤其涉及一种用于TEM样品测试的样品夹持工具。

背景技术

在半导体器件制作过程中，需要利用聚焦离子束(FIB)制备的样品进行透射电子显微镜(TEM，Transmission Electron Microscope)测试以分析所制作的器件的失效性。

在缺陷检测(DA，Defect Analysis)过程中，利用FIB制作TEM样品，制备好的TEM样品粘附于样品夹持工具的Mo栅格上，接着Mo栅格被固定于样品夹持工具的固定件之间，放置于TEM中进行检测。

现有技术中，样品夹持工具包括第一固定件和第二固定件，第一固定件以固定的角度安装于样品支座上，第一固定件与第二固定件为圆环形，第一固定件内周面设置螺纹，第二固定件外周面设置与第一固定件相适配的螺纹，第一固定件的圆环形底部设置有卡持件，用于固定Mo栅格。装配TEM样品的过程如下：将Mo栅格装入第一固定件内，第二固定件旋入第一固定件，并固定Mo栅格于第一固定件与第二固定件之间。然而在旋动第二固定件过程中会带动Mo栅格随之随机转动，则当第一固定件固定安装于样品支座时，Mo栅格的位置并非水平向上，检测过程得到的图片中Mo栅格上TEM样品测试得到的非水平。图1为利用现有样品夹持工具对TEM样品测试的电子扫描示意图。图2为利用现有样品夹持工具对TEM样品测试的元素测试图谱。如图1和图2所示，在TEM样品测试中，检测得到的图片中可以看到，TEM样品放置于Mo栅格上，由于Mo栅格没有正确放置于水平方向，从而在图2的元素测试图谱中仅能接收到TEM样品放置件的Mo元素，TEM样品的信号全部被遮挡，导致无法正确探测到TEM样品。然而，依靠现有工具将样品放置件调制至水平方向是非常复杂与不便的。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种主要用于TEM测试过程中固定TEM样品的样品夹持工具，该样品夹持工具能够保证TEM样品在测试过程中位置保持水平朝上，以得到正视的TEM测试图像及正确的测试结果。

为解决上述问题，本实用新型提供一种样品夹持工具，固定于所述样品支座上，包括：第一环状体固定件，固定于样品支座上，所述第一环状体固定件内周面一侧设置有卡持部；环状体卡持件，通过所述卡持部套设于于所述第一环状体固定件内周面中，所述环状体卡持件相对于所述第一环状体固定件能够旋转；第二环状体固定件，贴套于所述环状体卡持件，所述第二环状体固定件外周面与环状体卡持件内周面相适配；样品放置件，套设于所述环状体卡持件内周面上，所述第二环状体固定件部分压覆于所述样品放置件上。

进一步的，所述样品放置件呈半圆形，尺寸与所述环状体卡持件相适配，所述样品放置件上设置有栅格。

进一步的，所述环状体卡持件内周面设置有若干固定卡槽，所述第二环状体固定件外周面设置有若干凸齿，所述凸齿与所述固定卡槽相匹配。

进一步的，所述第一环状体固定件内周面为圆形，外周面为圆形或多边形。

进一步的，所述环状体卡持件外周面为圆形，内周面为圆形或多边形。

进一步的，所述第二环状体固定件外周面为与所述环状体卡持件内周面相适配的圆形或多边形，内周面圆形或多边形。

进一步的，所述第二环状体固定件上还设置有螺孔。

进一步的，第一环状体固定件、环状体卡持件及第二环状体固定件的材质为不锈钢。

进一步的，所述样品放置件的材质为钼金属。

综上所述，本实用新型通过提供一种样品夹持工具，将TEM样品放置于样品放置件后进行安装过程时，减少样品放置件的旋转，从而保证样品放置件在水平方向达到最佳位置，从而提高TEM样品测试的效率和准确性。

附图说明

图1为利用现有样品夹持工具对TEM样品测试的电子扫描示意图。

图2为利用现有样品夹持工具对TEM样品测试的元素测试图谱。

图3为本实用新型样品夹持工具一实施例中第一环状体固定件的结构示意图。

图4为本实用新型样品夹持工具一实施例中环状体卡持件的结构示意图。

图5为本实用新型样品夹持工具一实施例中第二环状体固定件的结构示意图。

图6为本实用新型样品夹持工具一实施例中样品放置件的结构示意图。

图7为本实用新型样品夹持工具一实施例中组装后的简要结构示意图。

图8为本实用新型样品夹持工具对TEM样品测试的电子扫描示意图。

图9为本实用新型样品夹持工具对TEM样品测试的元素测试图谱。