[实用新型]液态源汽化装置有效
| 申请号： | 201120160974.8 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN202074230U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李东升;龚小雷;张敏 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液态 汽化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种液态源汽化装置，包括汽化容器（1），其特征在于，所述汽化容器（1）顶部开孔插有鼓泡管路（10）、压力表（11）和液位计（12），所述汽化容器（1）设有内部电加热棒（13）和外部加热器（14），所述汽化容器（1）出口处设置有质量流量计（4）和蒸汽出口阀门（5）。
2.如权利要求1所述的液态源汽化装置，其特征在于，所述汽化容器（1）底部开孔和补液装置（6）相连。
3.如权利要求1所述的液态源汽化装置，其特征在于，所述汽化装置设置有保温箱（9），所述保温箱（9）内部设置循环风机（2）、电热翅片（3）和温控装置，所述汽化容器（1）出口、质量流量计（4）和蒸汽出口阀门（5）放置于保温箱（9）中。
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