[实用新型]液态源汽化装置

说明书

技术领域

 本实用新型涉及一种汽化装置，尤其涉及一种液态源汽化装置。

背景技术

液态源和特种气体一样，是电子行业的重要原料。液态源常温下蒸汽压很低，以液态存在。但必须转化为气态，才能参与工艺反应。如光纤预制棒的制造工艺需要用到SiCl4、GeCl4、POCl3等液态源，用于芯层和包层的沉积工艺。硅基太阳能电池生产中用到的POCl3，需要经过氮气携带进入扩散炉，生成PN结。薄膜太阳能电池成产用到的DEZn, 蒸发后参与反应，生成TCO玻璃。半导体芯片制造用到的TEOS，经过蒸发进入反应腔，生成SiO2绝缘层。芯片制造中用到的TCS，汽化后用于制造硅外延片。

工艺中化学品输送需要使用的输送设备是整个工业系统的关键，而汽化装置又是整个输送设备的核心部分。对于光纤行业，汽化装置将直接影响到预制棒的光学性能，决定了整个系统能否生产出合格预制棒。

液态源传统的汽化通常有蒸发或者气体鼓泡携带两种方式实现。两种方式通常是由终端用气量的多少来划分并选择，通常用气量多时采用蒸发方式，用气量少时采用鼓泡携带方式，两种方式单独使用。其中蒸发方式通常采用内部电加热或外部加热的方式，使蒸发器中的液态源完成汽化。气体鼓泡携带方式伴随外部加热使携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸汽输送到终端。此种方式需严格控制载气的品质和流量。

对于同一工艺而言，终端需求的液态源用量并不是始终不变的，这就需要汽化装置能根据实际需求输出不同流量的化学品，但传统汽化装置无法实现两种方式的转化，应用上缺乏灵活性。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种液态源汽化装置，实现蒸发和鼓泡两种功能切换，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善可操作性和灵活性。

本实用新型为解决上述技术问题提供一种液态源汽化装置，包括汽化容器，其中，所述汽化容器顶部开孔插有鼓泡管路、压力表和液位计，所述汽化容器设有内部电加热棒和外部加热器，所述汽化容器出口处设置有质量流量计和蒸汽出口阀门。

上述的液态源汽化装置，其中，所述汽化容器底部开孔和补液装置相连。

上述的液态源汽化装置，其中，所述汽化装置设置有保温箱，所述保温箱内部设置循环风机、电热翅片和温控装置，所述汽化容器出口、质量流量计和蒸汽出口阀门放置于保温箱中。

本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的液态源汽化装置，通过设置鼓泡管路、内部电加热棒和外部加热器，使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，并根据汽化的用气量切换蒸发和鼓泡模式，从而实现液态源的汽化，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。

附图说明

图1为本实用新型液态源汽化装置结构示意图。

图中：

1 汽化容器        2 循环风机         3 电热翅片    

4 质量流量计       5 蒸汽出口阀门     6 补液装置   

7 控制箱           8 抽风柜           9 保温箱 

10 鼓泡管路       11 压力表          12液位计

13 内部加热棒      14 外部加热器

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。

图1为本实用新型液态源汽化装置结构示意图。

请参见图1，本实用新型提供的液态源汽化装置包括汽化容器1，所述汽化容器1设置有温度控制装置、压力控制装置、液位控制装置，其中温度控制装置包括设置汽化容器1内部的内部加热加热棒13和设置在汽化容器1外面底部的外部加热器14，所述汽化容器出口处设置有质量流量计4和蒸汽出口阀门5组成流量控制模块，通过使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，并根据汽化的用气量切换蒸发和鼓泡模式，从而实现液态源的汽化。