[实用新型]可循环的显影系统有效

专利信息
申请号: 201120177693.3 申请日: 2011-05-30
公开(公告)号: CN202067074U 公开(公告)日: 2011-12-07
发明(设计)人: 颜强 申请(专利权)人: 广西钦州天山微电子有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 代理人: 苏家达
地址: 535413 广西壮*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 循环 显影 系统
【权利要求书】:

1.可循环的显影系统,包括显影槽(1)和加热槽(2),显影槽(1)通过水泵管路连通加热槽(2),加热槽(2)通过溢流口(8)连通显影槽(1)而形成碱液在显影槽(1)与加热槽(2)之间的外循环,其特征在于:所述显影槽(1)两侧隔离出对流槽(3),两对流槽(3)相对的槽面上开设均匀布置的对流孔(4),两对流槽(3)之间通过水泵管路连通形成碱液在显影槽(1)内的内循环。

2.根据权利要求1所述的可循环的显影系统,其特征在于:将显影槽(1)连同对流槽(3)隔离成两部分或两部分以上。

3.根据权利要求2所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述内循环水泵管路为两套或两套以上,分别连通对应部分的对流槽(3)。

4.根据权利要求1~3中任意一项所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述对流槽(3)的宽度相等。

5.根据权利要求4所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述对流槽(3)的宽度等于加热槽(2)宽度。

6.根据权利要求1~3中任意一项所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述外循环的水泵管路上还设有过滤器(6)和控制阀(7),所述内循环的水泵管路上还设有控制阀(7)。

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