[实用新型]可循环的显影系统有效
申请号: | 201120177693.3 | 申请日: | 2011-05-30 |
公开(公告)号: | CN202067074U | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 颜强 | 申请(专利权)人: | 广西钦州天山微电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人: | 苏家达 |
地址: | 535413 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 循环 显影 系统 | ||
1.可循环的显影系统,包括显影槽(1)和加热槽(2),显影槽(1)通过水泵管路连通加热槽(2),加热槽(2)通过溢流口(8)连通显影槽(1)而形成碱液在显影槽(1)与加热槽(2)之间的外循环,其特征在于:所述显影槽(1)两侧隔离出对流槽(3),两对流槽(3)相对的槽面上开设均匀布置的对流孔(4),两对流槽(3)之间通过水泵管路连通形成碱液在显影槽(1)内的内循环。
2.根据权利要求1所述的可循环的显影系统,其特征在于:将显影槽(1)连同对流槽(3)隔离成两部分或两部分以上。
3.根据权利要求2所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述内循环水泵管路为两套或两套以上,分别连通对应部分的对流槽(3)。
4.根据权利要求1~3中任意一项所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述对流槽(3)的宽度相等。
5.根据权利要求4所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述对流槽(3)的宽度等于加热槽(2)宽度。
6.根据权利要求1~3中任意一项所述的可循环的显影系统,其特征在于:所述外循环的水泵管路上还设有过滤器(6)和控制阀(7),所述内循环的水泵管路上还设有控制阀(7)。
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