[实用新型]可循环的显影系统

说明书

(一)技术领域：

本实用新型涉及LCD液晶显示屏制造技术，具体为一种可循环的显影系统。

(二)技术背景：

LCD液晶显示屏制造流程中的显影工序是在曝光工序之后，曝光工序是在暗室中将菲林置于散射光与ITO玻璃之间，使ITO玻璃上的光刻胶根据菲林图案曝光；而显影工序是用显影液清洗ITO玻璃表面被光照到光阻剂(菲林图空白区)。

显影工序是在显影槽中通过碱液循环冲刷来完成的。

传统显影槽循环流程只有一个，即设置两个并列的显影槽和加热槽，加热槽高于显影槽，曝光后的ITO玻璃成筐置于显影槽内的碱液中，显影槽通过控制阀、过滤器和水泵构成的管路连通加热槽，显影槽中的碱液被抽入加热槽内加热，碱液在B槽内盛满后溢出进入显影槽，碱液反复在显影槽和加热槽之间循环流动，同时完成对ITO玻璃的清洗。

使用中发现传统显影方式在以下不足：

1、碱液在显影槽、加热槽之间循环流动不充分，形成不了对ITO玻璃的冲刷，菲林图案显影不充分。

2、由于碱液在显影槽、加热槽之间循环流动不充分，还导致显影槽内碱液温度不均匀。

(三)实用新型内容：

本实用新型的目的是提出一种提高显影质量的可循环的显影系统。

能够实现上述目的的可循环的显影系统，包括显影槽和加热槽，显影槽通过水泵管路连通加热槽，加热槽通过溢流口连通显影槽而形成碱液在显影槽与加热槽之间的外循环，所不同的是所述显影槽两侧隔离出对流槽，两对流槽相对的槽面上开设均匀布置的对流孔，两对流槽之间通过水泵管路连通形成碱液在显影槽内的内循环，形成内循环的碱液从一侧对流槽的对流孔喷出，从另一侧对流槽的对流孔回流，碱液的流动得到加速，提高了对ITO玻璃的冲刷力度，另外碱液的内循环过程还使碱液温度相应有所提高，从而提高外循环碱液温度，提高显影质量。

可以根据显影槽侵泡ITO玻璃的筐数，将显影槽连同对流槽隔离成两部分或两部分以上，各部分均形成单独的内循环。

所述内循环水泵管路为对应的两套或两套以上，分别连通对应部分的对流槽，保证各单独的内循环有独立的循环系统。

所述对流槽的宽度相等。

所述对流槽的宽度等于加热槽宽度。

为过滤杂质和调节循环流量，所述外循环的水泵管路上还设有过滤器和控制阀，所述内循环的水泵管路上还设有控制阀。

本实用新型的优点：

本实用新型可循环的显影系统在传统碱液外循环的基础上增加了显影槽内部碱液内循环，在保持碱液外循环强度和加热温度不变的情况下，加快了内部碱液的流动加速，提高了冲刷力度，增加了碱液温度，保证了显影质量。

(四)附图说明：

图1为本实用新型一种实施方式的结构示意图。

图2为图1中的H向视图。

图3为图2中K向视图。

图号标识：1、显影槽；2、加热槽；3、对流槽；4、对流孔；5、加热管；6、过滤器；7、控制阀；8、溢流口；9、水泵。

(五)具体实施方式：

本实用新型可循环的显影系统包括相邻的显影槽1和加热槽2，加热槽2高于显影槽1，高于显影槽1的加热槽2上开设溢流口8，加热槽2内设有加热管5；所述显影槽1被横向分割为A槽和B槽，A槽两侧被隔离出对流槽3即E槽和J槽，B槽两侧被隔离出对流槽3即C槽和F槽，C槽和F槽、E槽和J槽相对的槽面上开设均匀分布的对流孔4，各对流槽3即C槽、F槽、E槽和J槽的宽度均等于加热槽2的宽度，如图1、图2、图3所示。

所述显影槽1(A槽和B槽)和加热槽2之间由水泵管路连通，水泵管路上设有水泵9、过滤器6和控制阀7，构成显影槽1(A槽和B槽)和加热槽2之间碱液的外循环回路：显影槽1(A槽和B槽)中的碱液被抽至加热槽2中加热后回流显影槽1(A槽和B槽)，周而复始循环，如图1、图2所示。

所述对流槽3的C槽和F槽、E槽和J槽之间由两条水泵管路连通，各条水泵管路上设有水泵9和控制阀7，构成C槽--B槽--F槽之间碱液的内循环回路和E槽--A槽--J槽之间碱液的内循环回路：F槽和J槽中的碱液被抽至C槽和E槽，碱液从C槽和E槽的对流孔4喷出，流经B槽和A槽后进入F槽和J槽，周而复始循环，如图1、图2所示。