[实用新型]一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽

权利要求书

1.一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：包括内部装有清洗液的清洗槽(1)、安装在清洗槽(1)内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽(1)内。

2.按照权利要求1所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：所述超声波清洗装置包括用于产生高频振荡信号的超声波发生器(3-1)和将超声波发生器(3-1)输出的高频振荡信号转换成高频机械振荡运动并传播至清洗液的超声波换能器(3-2)，所述超声波发生器(3-1)布设在清洗槽(1)外侧且其与超声波换能器(3-2)之间通过连接线(4)进行连接，所述超声波换能器(3-2)布设在清洗槽(1)的内壁上。

3.按照权利要求1或2所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：所述安装支架包括布设在清洗槽(1)底部的水平底板(2-1)和多个平行安装在水平底板(2-1)上且对所述托板进行夹持的夹持装置，多个所述夹持装置的结构均相同，安装在安装支架上的多个所述托板呈平行布设，且相邻两个所述托板之间的间距与相邻两个所述夹持装置的间距相同。

4.按照权利要求3所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：所述夹持装置为由前后两块夹板组成的夹子(2-2)，两块所述夹板呈平行布设且二者的结构和尺寸均相同，两块所述夹板之间的间隙宽度与所述托板的厚度一致。

5.按照权利要求3所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：多个所述夹持装置的结构和尺寸均相同。

6.按照权利要求5所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：多个所述夹持装置呈均匀布设。

7.按照权利要求3所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗 槽，其特征在于：所述清洗槽(1)为矩形槽，所述矩形槽的内腔长度不小于所述托板的长度。

8.按照权利要求4所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：所述夹板为长条状板。

9.按照权利要求1或2所述的一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：所述清洗槽(1)包括橡胶质槽体或金属质槽体，所述橡胶质槽体或金属质槽体的底部设置有排水口。