[实用新型]一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种清洗装置，尤其是涉及一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽。 

背景技术

目前，对硅棒粘接过程中所使用的托板(即粘棒托板)进行清洗，通常均在超声清洗槽中进行清洗，上述粘棒托板通常为玻璃板。但是，采用上述超声清洗槽对托板进行清洗时，由于被清洗的托板无法在槽体中进行固定，因而只能沿槽体的对角线放置。这样，实际采用此种沿槽体对角线对托板进行放置时，一次性在槽体中所放置的托板数量有限，能一次同时放入槽体内的托板数量不多，因而没有最大化的利用超声槽，造成较大的资料浪费，并且在一定程度上增加了公司的生产成本。同时，采用上述放置方式进行清洗时，不可避免地会发生托板之间相互碰撞并导致托板被撞裂的问题，并且清洗效果不佳，严重影响后续生产工序，具体体现在使得硅棒在粘接过程中不能牢固地粘在工件上，影响后端的切割质量。同时，更为生产区的5S管理带来比较棘手的问题。另外，采用沿槽体对角线放置托板时，需耗费较多时间去找合适的放置，因而清洗效率较低，且其在现阶段高质量、高效的生产模式中使用时效果不是很理想。 

综上，采用现有超声清洗槽沿对角线放置时存在的一次同时放入槽体内的托板数量有限、清洗效率较低、清洗效果不佳、资源浪费较严重、影响后续生产工艺等多种实际问题。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提 供一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其结构简单、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解决现有超声清洗槽沿对角线放置时存在的一次同时放入槽体内的托板数量有限、清洗效率较低、清洗效果不佳、资源浪费较严重、影响后续生产工艺等实际问题。 

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：包括内部装有清洗液的清洗槽、安装在清洗槽内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽内。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：所述超声波清洗装置包括用于产生高频振荡信号的超声波发生器和将超声波发生器输出的高频振荡信号转换成高频机械振荡运动并传播至清洗液的超声波换能器，所述超声波发生器布设在清洗槽外侧且其与超声波换能器之间通过连接线进行连接，所述超声波换能器布设在清洗槽的内壁上。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：所述安装支架包括布设在清洗槽底部的水平底板和多个平行安装在水平底板上且对所述托板进行夹持的夹持装置，多个所述夹持装置的结构均相同，安装在安装支架上的多个所述托板呈平行布设，且相邻两个所述托板之间的间距与相邻两个所述夹持装置的间距相同。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：所述夹持装置为由前后两块夹板组成的夹子，两块所述夹板呈平行布设且二者的结构和尺寸均相同，两块所述夹板之间的间隙宽度与所述托板的厚度一致。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：多个所述夹持装置的结构和尺寸均相同。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：多个所述夹持装置呈均匀布设。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：所述清洗槽为矩形槽，所述矩形槽的内腔长度不小于所述托板的长度，且所述矩形槽的内腔宽度D≥n×d₁+(n-1)×d₂，式中d₁为所述夹持装置的横向宽度，d₂为相邻两个所述夹持装置之间间隙的宽度。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：所述夹板为长条状板。 

上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是：所述清洗槽包括橡胶质槽体或金属质槽体，所述橡胶质槽体或金属质槽体的底部设置有排水口。 

本实用新型与现有技术相比具有以下优点： 

1、结构简单、制作成本低且加工制作方便。 

2、使用操作简便且托板的放置方便，省时省力。 

3、内部所布设的安装支架结构设计合理且经济实用，具体采用多个夹持装置对多个托板同时进行夹持固定，且夹持固定后的多个托板呈平行布设，并保持固定间距，因而能有效防止在超声清洗过程中导致托板撞裂的现象发生；同时，采用安装支架后，一次性所放入的托板数量增多，因而能充分且最大化地利用清洗槽内的清洗空间。