[实用新型]基于电荷转移的传感器结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子显示技术领域，具体来说，是一种基于电荷转移的传感器结构。

背景技术

触控面板（Touch Panel）已大量应用于家电、通讯、电子资讯等产品应用上，如目前广泛商用之掌上电脑、各种家电设备、游戏输入界面等。均由触控面板与显示器之整合，可供使用者以手指或触控笔依照显示画面上之功能选项触摸输入所欲执行的动作。

熟知的触控面板主要在一块基板表面布设感应区域，其感应区域用手指或触控笔触摸图标或菜单来达到触控的目的。该感应部件即为一种基于电荷转移位置传感器。该传感部件的制作所使用的材料大都采用带有透明导电薄膜（氧化铟锡，俗称ITO）的玻璃，使得使用者在操作时，触摸该传感器达到电荷转移的目的。

ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡膜加工制作而成。电容式触摸传感器主要有表面电容式触摸传感器和投射电容式触摸传感器。表面电容式触摸传感器只采用单层ITO玻璃；投射电容式触摸传感器与表面电容式触摸传感器相比，是在两层ITO涂层玻璃上蚀刻出不同的ITO模块。

现有基于电荷转移位置传感器大都是一块多层复合玻璃屏；基于电荷转移位置传感器的制作主要是在玻璃表面通过真空溅射镀膜的方法镀上透明的金属透明导电层（ITO），然后在两面分别经过涂布、烘干、曝光、显影、蚀刻、去胶等工艺制成电极图案，最后再用印刷低温银浆或者化学镀金属的方法制作一层金属强化走线层。印刷低温银浆的方式能够制作的电极的分辨率较低，且良品率低下；化学镀的方式一般选择使用金（Au），不仅加工工序多，而且Au的附着力差，同时Au的成本很高，制作成品率低。玻璃基底过厚会造成重量增加，过薄在制作过程中易于损坏，并且无法实现卷曲，生产效率低。

实用新型内容

技术问题：本实用新型提供一种基于电荷转移的传感器结构，该传感器结构加工工序少，生产成本低，成品率高于现有技术，同时减轻了产品重量，并能够实现产品的卷曲。

技术方案：基于电荷转移的传感器结构，包括基材、在基材上表面依次形成的第一透明导电层、第一引线电极组、第一保护层和在基材下表面依次形成的第二透明导电层、第二引线电极组、第二保护层；第一引线电极组由透明导电层及覆盖透明导电层的金属强化层组成，该引线电极组与第一透明导电层电气相连，其上覆盖第一保护层；第二引线电极组由透明导电层及覆盖透明导电层的金属强化层组成，该引线电极组与第二透明导电层电气相连，其上覆盖第二保护层；第一引线电极组与第二引线电极组互相垂直。

基材为玻璃、聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、亚克力或聚烯烃，厚度0.05mm~0.7mm。

所述玻璃的厚度为0.1mm~0.7mm。

所述的透明导电层的材料为氧化铟锡、氧化锌、氧化锡、铝、镍、钼、金、银、铜、碳纳米管膜或导电树脂中的一种或任意几种的组合物。

所述的金属强化层的材料为铝、镍、钼、金、银或铜中的一种或任意几种的合金。

制作基于电荷转移的传感器结构的方法，步骤为：在基材的两面通过真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空热蒸发镀膜或涂布的方法制作透明导电层；在上述上下透明导电层表面通过真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空热蒸发镀膜、电镀或化学镀方法制作金属强化层；通过选择性腐蚀方法在基材双面分别形成第一透明导电层、第一引线电极组、第二透明导电层、第二引线电极组的图形；在第一引线电极组和第二引线电极组表面采用丝网印刷、圆辊移印或光刻的方法制作保护层；将完成上述工艺的工件放入选择性蚀刻液，将覆盖透明导电层的金属强化层去除。

所述的选择性腐蚀方法采用涂布感光胶、贴敷感光干膜或者丝网印刷感光胶，之后干燥、曝光、显影、蚀刻、去胶的方法完成电极图案的制作。

所述的选择性腐蚀方法采用丝网印刷或圆辊移印直接制作防蚀刻胶，之后干燥、曝光、显影、蚀刻、去胶的方法完成电极图案的制作。

在对感光胶进行曝光、显影、蚀刻与脱膜工艺时，两面同时进行工艺，或先对其中一面进行工艺，结束之后用保护膜将其保护住，然后对另一面进行工艺，完成之后去除保护膜。

将有机基材裁切后以片状形式进行作业；或使用卷对卷的模式进行作业。

有益效果：