[实用新型]利用基板对位孔测量基板变形量的测量装置

权利要求书

1.一种利用基板对位孔测量基板变形量的测量装置，其特征在于包括：

一承载平台，该承载平台的顶面供承载一基板，其中该基板邻近其四边中央的位置上分别开设有一对位孔；

一透明板体，设置在该承载平台的上方，该透明板体邻近其四边中央的位置分别设有一基准图样，该透明板体的底面能抵靠在该基板的顶面；及

四部影像检索单元，设在该透明板体的上方，且分别对应于各该基准图样的位置，各该影像检索单元分别对各该基准图样及各该对位孔进行拍摄，以分别取得一测量影像。

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括一升降机构，与该承载平台相连接，而能带动该承载平台上升，并带动该基板上升，以使该透明板体的底面抵靠在该基板的顶面。

3.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括一升降机构，与该透明板体相连接，而能带动该透明板体下降，以使该透明板体的底面抵靠在该基板的顶面。

4.如权利要求2或3所述的测量装置，其特征在于，还包括一处理单元，该处理单元与该等影像检索单元相连接，且能自各该影像检索单元取得各该测量影像。

5.如权利要求4所述的测量装置，其特征在于，还包括一输送机构，该输送机构设置在对应于该承载平台的位置，且能将该基板运送到对应于该承载平台的位置。

6.如权利要求5所述的测量装置，其特征在于，该输送机构由至少一输送带及至少二滚轮所构成，该输送带套设在该等滚轮上，且该等滚轮能旋转带动该输送带。

7.如权利要求6所述的测量装置，其特征在于，各该基准图样分别由多个基准点所组成。