[实用新型]一种太阳电池扩散工艺的尾排装置有效
| 申请号： | 201120193126.7 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN202148370U | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王程杰;梁兴芳;许新湖 | 申请（专利权）人： | 阳光大地（福建）新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈智海 |
| 地址： | 362300 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳电池 扩散 工艺 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其包括有连通管、尾排箱及主管道，上述连通管的一端贯穿入石英炉管内，另一端与上述尾排箱的输入端相连通，上述尾排箱的输出端与上述主管道间连接有一带有控制阀的管路，其特征在于：上述控制阀包括有一蝶阀和连接于该蝶阀与上述主管道间的球阀。
2.如权利要求1所述的一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其特征在于：上述主管道的出口处设有一由普通开关阀和球阀构成的第二控制阀。
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